|
已选(0)清除
条数/页： 排序方式： |
| 光刻物镜系统波像差横向剪切干涉绝对检测方法研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者: 张璐
 caj(6271Kb) |  收藏 | 浏览/下载：158/0 | 提交时间：2020/08/24
光刻物镜 光学检测 波像差 光栅横向剪切干涉仪 绝对检测 |
| 短相干菲索型动态干涉仪的关键技术研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者: 樊孝贺
caj(4313Kb) | 收藏 | 浏览/下载：140/0 | 提交时间：2020/08/24
短相干 菲索型 动态干涉仪 条纹图配准 相位解包裹 误差补偿 |
| 采用整体最小二乘法的条纹图配准方法 期刊论文
中国光学, 2016, 期号: 6, 页码: 625-632
作者: 穆治亚; 艾华; 樊孝贺; 何昕; 何丁龙; 韩冬松; 于国栋
 caj(343Kb) | 收藏 | 浏览/下载：425/120 | 提交时间：2017/09/17
共光路动态干涉仪 条纹图配准 整体最小二乘法 |
| 基于双频激光干涉仪的精密定位系统设计 期刊论文
实验室研究与探索, 2016, 期号: 11, 页码: 72-75
作者: 陈昊; 陈琦; 蒋贵德
caj(227Kb) | 收藏 | 浏览/下载：454/116 | 提交时间：2017/09/17
双频激光干涉仪 气浮导轨 精密定位 前馈控制 |
| 纳米精度二维工作台测量镜的面形误差在线检测 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 9, 页码: 2134-2141
作者: 刘兆武; 李文昊; 王敬开; 姜珊; 宋莹; 潘明忠; 巴音贺希格
caj(466Kb) | 收藏 | 浏览/下载：345/95 | 提交时间：2017/09/17
激光干涉仪 纳米二维工作台 测量镜 面形误差 在线检测 |
| 高精度六维激光测量系统误差补偿算法研究 期刊论文
电子测量与仪器学报, 2016, 期号: 8, 页码: 1275-1281
作者: 尹志生 ; 李友如; 李佩玥; 郭抗; 李朋志
caj(904Kb) | 收藏 | 浏览/下载：308/132 | 提交时间：2017/09/17
双频激光干涉仪 六自由度位姿检测 误差补偿 齐次变换 |
| 基于波前法的光栅拼接误差检测及计算方法 期刊论文
光学学报, 2016, 期号: 5, 页码: 22-31
作者: 卢禹先; 齐向东; 糜小涛; 姜珊; 于海利; 李晓天; 尹禄
caj(395Kb) | 收藏 | 浏览/下载：287/121 | 提交时间：2017/09/17
衍射 光栅拼接 干涉仪 衍射波前 拼接误差 |
| 微缩投影系统的垂轴放大率测量 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 1
作者: 谢耀; 王丽萍; 郭本银; 王君; 苗亮; 王辉; 周烽
caj(532Kb) | 收藏 | 浏览/下载：307/106 | 提交时间：2017/09/17
成像系统 微缩投影系统 垂轴放大率测量 点衍射干涉仪 离焦 |
| 扫描曝光系统中二维工作台x轴测量镜的面形在线检测 期刊论文
中国激光, 2016, 页码: 231-236
作者: 刘兆武; 李文昊; 巴音贺希格; 宋莹; 姜珊; 李晓天; 吕强
caj(310Kb) | 收藏 | 浏览/下载：283/74 | 提交时间：2018/04/09
测量 光检测技术 二维工作台 测量镜面形 光栅 激光干涉仪 |
| 用于高精度非球面面形检测的计算全息图的设计 期刊论文
激光与光电子学进展, 2016, 期号: 9, 页码: 70-77
作者: 高松涛; 武东城; 于长淞
caj(3281Kb) | 收藏 | 浏览/下载：375/106 | 提交时间：2017/09/17
测量 计算全息图 非球面 投影光刻物镜 衍射鬼像 干涉仪 |
