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Profile online detection for two-dimensional stage x axis mirror in scanning exposure systems 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 1
作者:  Liu, Z.;  W. Li;  Bayanheshig;  Y. Song;  S. Jiang;  X. Li and Q. Lu
Adobe PDF(420Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：307/87  |  提交时间：2018/06/13
扫描曝光系统中二维工作台x轴测量镜的面形在线检测 期刊论文
中国激光, 2016, 页码: 231-236
作者:  刘兆武;  李文昊;  巴音贺希格;  宋莹;  姜珊;  李晓天;  吕强
caj(310Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：279/74  |  提交时间：2018/04/09
测量  光检测技术  二维工作台  测量镜面形  光栅  激光干涉仪  
超光滑光学基底表面原子力显微镜测试方法 期刊论文
中国激光, 2011
作者:  金春水;  邓文渊;  喻波
Adobe PDF(907Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：537/200  |  提交时间：2012/05/11
无创血糖检测中的近红外血流容积光谱基本问题研究 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2010
作者:  丁海泉
Adobe PDF(1535Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：316/2  |  提交时间：2013/03/01