Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 高精度六维激光测量系统误差补偿算法研究 | |
尹志生 ; 李友如; 李佩玥; 郭抗; 李朋志
| |
| 2016-08-15 | |
| 发表期刊 | 电子测量与仪器学报
 |
| 期号 | 8页码:1275-1281 |
| 摘要 | 根据极大规模集成电路制造对光刻物镜中敏感光学元件调节机构高精度的调整要求,研究设计了一套基于双频激光干涉仪的高精度六自由度位姿检测测量系统。但由于双频激光干涉仪是一种线性增量式的测长仪器,其固有的机械安装误差及运动平台在工作过程中引入的倾斜或旋转运动都将导致测量光程的变化而产生阿贝误差与余弦误差。为此,根据系统测量原理,采用解析法基于空间齐次变换建立了系统误差补偿数学模型,并深入分析了装调误差对测量精度的影响,实现了调节机构六自由度运动的高精度测量。 |
| 关键词 | 双频激光干涉仪 六自由度位姿检测 误差补偿 齐次变换 |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/57961 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 尹志生,李友如,李佩玥,等. 高精度六维激光测量系统误差补偿算法研究[J]. 电子测量与仪器学报,2016(8):1275-1281. |
| APA | 尹志生,李友如,李佩玥,郭抗,&李朋志.(2016).高精度六维激光测量系统误差补偿算法研究.电子测量与仪器学报(8),1275-1281. |
| MLA | 尹志生,et al."高精度六维激光测量系统误差补偿算法研究".电子测量与仪器学报 .8(2016):1275-1281. |
| 条目包含的文件 | 下载所有文件 | |||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 高精度六维激光测量系统误差补偿算法研究.（904KB） | 期刊论文 | 作者接受稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |
| 个性服务 |
| 推荐该条目 |
| 保存到收藏夹 |
| 查看访问统计 |
| 导出为Endnote文件 |
| 谷歌学术 |
| 谷歌学术中相似的文章 |
| [尹志生]的文章 |
| [李友如]的文章 |
| [李佩玥]的文章 |
| 百度学术 |
| 百度学术中相似的文章 |
| [尹志生]的文章 |
| [李友如]的文章 |
| [李佩玥]的文章 |
| 必应学术 |
| 必应学术中相似的文章 |
| [尹志生]的文章 |
| [李友如]的文章 |
| [李佩玥]的文章 |
| 相关权益政策 |
| 暂无数据 |
| 收藏/分享 |
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论