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基于双频激光干涉仪的精密定位系统设计 期刊论文
实验室研究与探索, 2016, 期号: 11, 页码: 72-75
作者:  陈昊;  陈琦;  蒋贵德
caj(227Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：417/112  |  提交时间：2017/09/17
双频激光干涉仪  气浮导轨  精密定位  前馈控制