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光栅横向剪切干涉仪系统误差的校正方法 期刊论文
中国激光, 2018, 期号: 08, 页码: 175-180
Authors:  张璐;  向阳
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测量  光刻镜头  绝对检测  光栅横向剪切干涉仪  系统波像差  
Correction Algorithm of Systemic Errors in Grating Lateral-Shearing Interferometer 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2018, 卷号: 45, 期号: 8
Authors:  Zhang, Lu;  Xiang, Yang
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Shearing  Aberrations  Errors  Interferometers  Measurement  Wavefronts  
猫眼法绝对测量干涉仪出射波前 期刊论文
中国激光, 2015, 期号: 12, 页码: 201-206
Authors:  苏东奇;  苗二龙;  曲艺;  隋永新
caj(3041Kb)  |  Favorite  |  View/Download:84/16  |  Submit date:2016/07/06
测量  光学检测  猫眼  菲索干涉仪  波前  
非球面Null Lens补偿检测中采用激光跟踪仪测量几何参数方法研究 期刊论文
中国激光, 2015, 期号: 05, 页码: 242-248
Authors:  陈新东;  李锐刚
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光学制造  非球面检测  几何参数测量  激光跟踪仪  
菲索干涉仪移相器关键技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2015
Authors:  毛石磊
Adobe PDF(3933Kb)  |  Favorite  |  View/Download:61/2  |  Submit date:2016/04/11
菲索干涉仪  移相器  微位移  柔性铰链  压电陶瓷  
Absolute testing of interferometer wavefront using cat's-eye test 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2015, 卷号: 42, 期号: 12
Authors:  Su, D.;  E. Miao;  Y. Qu and Y. Sui
Adobe PDF(3156Kb)  |  Favorite  |  View/Download:43/2  |  Submit date:2016/08/24
Error correction of interferometer detection with high-accuracy rotation method 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2015, 卷号: 23, 期号: 5, 页码: 1297-1303
Authors:  Han, D.-S.;  X. He;  Z.-H. Wei and Y.-M. Li
Adobe PDF(1605Kb)  |  Favorite  |  View/Download:42/6  |  Submit date:2016/08/24
基于重力补偿的立式三平板绝对检测(英文) 期刊论文
光子学报, 2015, 期号: 11, 页码: 95-99
Authors:  苏东奇;  田伟;  苗二龙;  隋永新;  杨怀江
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光学检测  绝对检测  干涉术  重力变形  有限元方法  计算仿真  
光学面形的旋转绝对检测技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
Authors:  张艳微
Adobe PDF(1884Kb)  |  Favorite  |  View/Download:177/2  |  Submit date:2015/05/03
干涉检测  绝对检测  旋转法绝对检测  误差分析  
基于迭代方法的的高精度非球面补偿镜设计与检测 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
Authors:  李乐
Adobe PDF(3433Kb)  |  Favorite  |  View/Download:107/1  |  Submit date:2015/05/03
非球面检测  补偿镜  迭代  公差分配  折射率均匀性