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| 光栅横向剪切干涉仪系统误差的校正方法 期刊论文
中国激光, 2018, 期号: 08, 页码: 175-180
Authors: 张璐; 向阳
  Favorite | View/Download：20/0 | Submit date：2019/09/17
测量 光刻镜头 绝对检测 光栅横向剪切干涉仪 系统波像差 |
| Correction Algorithm of Systemic Errors in Grating Lateral-Shearing Interferometer 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2018, 卷号: 45, 期号: 8
Authors: Zhang, Lu; Xiang, Yang
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Shearing Aberrations Errors Interferometers Measurement Wavefronts |
| 猫眼法绝对测量干涉仪出射波前 期刊论文
中国激光, 2015, 期号: 12, 页码: 201-206
Authors: 苏东奇; 苗二龙; 曲艺; 隋永新
caj(3041Kb) | Favorite | View/Download：84/16 | Submit date：2016/07/06
测量 光学检测 猫眼 菲索干涉仪 波前 |
| 非球面Null Lens补偿检测中采用激光跟踪仪测量几何参数方法研究 期刊论文
中国激光, 2015, 期号: 05, 页码: 242-248
Authors: 陈新东; 李锐刚
caj(1254Kb) | Favorite | View/Download：70/16 | Submit date：2016/07/06
光学制造 非球面检测 几何参数测量 激光跟踪仪 |
| 菲索干涉仪移相器关键技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2015
Authors: 毛石磊
Adobe PDF(3933Kb) | Favorite | View/Download：61/2 | Submit date：2016/04/11
菲索干涉仪 移相器 微位移 柔性铰链 压电陶瓷 |
| Absolute testing of interferometer wavefront using cat's-eye test 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2015, 卷号: 42, 期号: 12
Authors: Su, D.; E. Miao; Y. Qu and Y. Sui
Adobe PDF(3156Kb) | Favorite | View/Download：43/2 | Submit date：2016/08/24 |
| Error correction of interferometer detection with high-accuracy rotation method 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2015, 卷号: 23, 期号: 5, 页码: 1297-1303
Authors: Han, D.-S.; X. He; Z.-H. Wei and Y.-M. Li
Adobe PDF(1605Kb) | Favorite | View/Download：42/6 | Submit date：2016/08/24 |
| 基于重力补偿的立式三平板绝对检测（英文） 期刊论文
光子学报, 2015, 期号: 11, 页码: 95-99
Authors: 苏东奇; 田伟; 苗二龙; 隋永新; 杨怀江
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光学检测 绝对检测 干涉术 重力变形 有限元方法 计算仿真 |
| 光学面形的旋转绝对检测技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
Authors: 张艳微
Adobe PDF(1884Kb) | Favorite | View/Download：177/2 | Submit date：2015/05/03
干涉检测 绝对检测 旋转法绝对检测 误差分析 |
| 基于迭代方法的的高精度非球面补偿镜设计与检测 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
Authors: 李乐
Adobe PDF(3433Kb) | Favorite | View/Download：107/1 | Submit date：2015/05/03
非球面检测 补偿镜 迭代 公差分配 折射率均匀性 |
