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Calibration Method of Pattern Place Error-Induced Wavefront Distortion with Complex-Phase Computer-Generated Holograms 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2023, 卷号: 43, 期号: 8
作者:  H. Zhang, L. Xu and C. Xie
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平面镜子孔径加权拼接检测算法(特邀) 期刊论文
红外与激光工程, 2021, 卷号: 50, 期号: 10, 页码: 18-23
作者:  闫力松;  张斌智;  王孝坤;  黎发志
浏览  |  Adobe PDF(1846Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：270/88  |  提交时间：2022/06/29
Subaperture stitching testing to flat mirror based on weighting algorithm (Invited) 期刊论文
Hongwai yu Jiguang Gongcheng/Infrared and Laser Engineering, 2021, 卷号: 50, 期号: 10
作者:  L. Yan;  B. Zhang;  X. Wang and F. Li
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光刻物镜系统波像差横向剪切干涉绝对检测方法研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:  张璐
caj(6271Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：385/0  |  提交时间：2020/08/24
光刻物镜  光学检测  波像差  光栅横向剪切干涉仪  绝对检测  
光栅横向剪切干涉仪系统误差的校正方法 期刊论文
中国激光, 2018, 期号: 08, 页码: 175-180
作者:  张璐;  向阳
收藏  |  浏览/下载：286/0  |  提交时间：2019/09/17
测量  光刻镜头  绝对检测  光栅横向剪切干涉仪  系统波像差  
Correction Algorithm of Systemic Errors in Grating Lateral-Shearing Interferometer 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2018, 卷号: 45, 期号: 8
作者:  Zhang, Lu;  Xiang, Yang
浏览  |  Adobe PDF(685Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：343/134  |  提交时间：2019/09/17
Shearing  Aberrations  Errors  Interferometers  Measurement  Wavefronts  
猫眼法绝对测量干涉仪出射波前 期刊论文
中国激光, 2015, 期号: 12, 页码: 201-206
作者:  苏东奇;  苗二龙;  曲艺;  隋永新
caj(3041Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：460/144  |  提交时间：2016/07/06
测量  光学检测  猫眼  菲索干涉仪  波前  
非球面Null Lens补偿检测中采用激光跟踪仪测量几何参数方法研究 期刊论文
中国激光, 2015, 期号: 05, 页码: 242-248
作者:  陈新东;  李锐刚
caj(1254Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：343/102  |  提交时间：2016/07/06
光学制造  非球面检测  几何参数测量  激光跟踪仪  
基于重力补偿的立式三平板绝对检测（英文） 期刊论文
光子学报, 2015, 期号: 11, 页码: 95-99
作者:  苏东奇;  田伟;  苗二龙;  隋永新;  杨怀江
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光学检测  绝对检测  干涉术  重力变形  有限元方法  计算仿真  
Error correction of interferometer detection with high-accuracy rotation method 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2015, 卷号: 23, 期号: 5, 页码: 1297-1303
作者:  Han, D.-S.;  X. He;  Z.-H. Wei and Y.-M. Li
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