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疵病检测中适用于不同倍率物镜的波前编码板优化设计 期刊论文
光电子·激光, 2016, 期号: 3, 页码: 291-297
作者:  刘江;  苗二龙;  于长淞;  隋永新;  杨怀江
caj(2380Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:292/111  |  提交时间:2017/09/17
波前编码(Wfc)  显微物镜  景深  分辨率  光学检测  
用于高精度非球面面形检测的计算全息图的设计 期刊论文
激光与光电子学进展, 2016, 期号: 9, 页码: 70-77
作者:  高松涛;  武东城;  于长淞
caj(3281Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:358/100  |  提交时间:2017/09/17
测量  计算全息图  非球面  投影光刻物镜  衍射鬼像  干涉仪  
精磨光学元件面形的干涉检测技术研究 期刊论文
电子测量与仪器学报, 2015, 期号: 04, 页码: 558-562
作者:  代雷;  吴迪;  张健;  张春雷;  于长淞;  谷勇强
caj(418Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:239/90  |  提交时间:2016/07/06
精磨检测  光学元件  干涉检测  
剪切干涉仪精密相移系统的研制 期刊论文
国外电子测量技术, 2014, 期号: 12, 页码: 57-60
作者:  于长淞;  代雷
caj(439Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:356/93  |  提交时间:2015/04/17
相移干涉  精密相移系统  压电陶瓷驱动器  柔性铰链  闭环控制  
基于光栅衍射的横向剪切干涉仪精密相移系统设计 期刊论文
电子测量与仪器学报, 2013, 期号: 11, 页码: 1099-1104
作者:  于长淞;  齐克奇;  张春雷;  向阳
caj(447Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:441/117  |  提交时间:2014/03/07
剪切干涉  光栅移相  压电陶瓷  有限元  
点衍射干涉仪小孔掩模技术研究进展 期刊论文
激光与光电子学进展, 2013, 期号: 03, 页码: 33-39
作者:  于长淞;  向阳
caj(1034Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:356/110  |  提交时间:2014/03/07
光学器件  小孔掩模  电磁场仿真  波像差  
点衍射干涉仪小孔掩模制备与检测技术研究 期刊论文
长春理工大学学报(自然科学版), 2012, 期号: 04, 页码: 24-26+30
作者:  于长淞
caj(1837Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:487/135  |  提交时间:2013/03/11
光学器件  小孔掩模  聚焦离子束  扫描电镜  
一种高精度系统波像差检测方法 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-03-07, 公开日期: 2012-08-29
发明人:  向阳;  于长淞
Adobe PDF(455Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:456/61  |  提交时间:2012/08/29
基于小波变换的ESPI图像去噪及边缘提取 期刊论文
液晶与显示, 2011, 卷号: 26, 期号: 6, 页码: 819
作者:  于长淞;  方超
Adobe PDF(1312Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:455/90  |  提交时间:2012/05/11
基于电子散斑剪切干涉技术的振动检测研究 期刊论文
长春理工大学学报(自然科学版), 2011, 卷号: 34, 期号: 3
作者:  于长淞
Adobe PDF(1430Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:453/110  |  提交时间:2012/05/11