Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 扫描曝光系统中二维工作台x轴测量镜的面形在线检测 | |
| 刘兆武; 李文昊; 巴音贺希格; 宋莹; 姜珊; 李晓天; 吕强 | |
| 2016 | |
| 发表期刊 | 中国激光
 |
| 页码 | 231-236 |
| 摘要 | 为了提高二维工作台的定位精度,提出了一种在线检测二维工作台x轴测量镜面形的方法。无需y轴测量镜,利用三路激光干涉仪检测工作台x轴测量镜的二次微分信息,对所得数据进行二次积分得到工作台测量镜的精确面形。分析了零点误差对工作台测量镜面形误差检测的影响,并提出了相应的校正方案。对所提出的方法进行了理论推导和实验验证,结果表明,所提方法的检测重复精度优于2.6521nm,验证了该方法对工作台测量镜面形误差检测的正确性,并且可对工作台x轴测量镜的面形误差进行实时补偿。 |
| 关键词 | 测量 光检测技术 二维工作台 测量镜面形 光栅 激光干涉仪 |
| DOI | 216AC5BBCFB03FC4470C30599C704FB5 |
| 语种 | 中文 |
| 引用统计 | |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/58573 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘兆武,李文昊,巴音贺希格,等. 扫描曝光系统中二维工作台x轴测量镜的面形在线检测[J]. 中国激光,2016:231-236. |
| APA | 刘兆武.,李文昊.,巴音贺希格.,宋莹.,姜珊.,...&吕强.(2016).扫描曝光系统中二维工作台x轴测量镜的面形在线检测.中国激光,231-236. |
| MLA | 刘兆武,et al."扫描曝光系统中二维工作台x轴测量镜的面形在线检测".中国激光 (2016):231-236. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 扫描曝光系统中二维工作台x轴测量镜的面形（310KB） | 期刊论文 | 作者接受稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |
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