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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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Polarization Aberration Analysis and Compensation of Off-Axis Optical System with Digital Micro-Mirror Device
期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2022, 卷号: 42, 期号: 16
作者:
K. Wang
;
C. Wang
;
H. Shi
;
Z. Liu
;
Q. Fu
;
J. Wang
;
Y. Li and H. Jiang
Adobe PDF(2204Kb)
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提交时间:2023/06/14
基于粒子群算法离轴多反光学系统设计
期刊论文
中国光学, 2021, 卷号: 14, 期号: 06, 页码: 1435-1450
作者:
吴越
;
王丽萍
;
于杰
;
张旭
;
金春水
Adobe PDF(2477Kb)
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浏览/下载:131/51
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提交时间:2022/06/29
Design of off-axis multi-reflective optical system based on particle swarm optimization
期刊论文
Chinese Optics, 2021, 卷号: 14, 期号: 6, 页码: 1435-1450
作者:
Y. Wu
;
L.-P. Wang
;
J. Yu
;
X. Zhang and C.-S. Jin
Adobe PDF(2477Kb)
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浏览/下载:86/35
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提交时间:2022/06/13
应用于空间惯性传感器的压电驱动器的性能测试
期刊论文
中国光学, 2020, 卷号: 13, 期号: 02, 页码: 344-353
作者:
李华东
;
齐克奇
;
石强
;
王少鑫
;
王智
Adobe PDF(3006Kb)
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提交时间:2021/07/06
精密驱动
尺蠖运动
压电驱动器
驱动力
位移分辨率
Performance test of piezoelectric actuators for space inertial sensors
期刊论文
Chinese Optics, 2020, 卷号: 13, 期号: 2, 页码: 344-353
作者:
H.-D. Li,K.-Q. Qi,Q. Shi,S.-X. Wang and Z. Wang
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提交时间:2021/07/06
光刻物镜系统波像差横向剪切干涉绝对检测方法研究
学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:
张璐
caj(6271Kb)
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提交时间:2020/08/24
光刻物镜
光学检测
波像差
光栅横向剪切干涉仪
绝对检测
投影光刻物镜像质补偿策略与补偿技术研究
学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:
赵磊
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提交时间:2020/08/24
投影光刻物镜
像质补偿技术
柔顺微动机构
主动变形镜
压电促动器的纳米级精度控制及其在光刻物镜中的应用研究
学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:
李朋志
caj(10011Kb)
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提交时间:2020/08/24
光刻物镜
压电促动器
迟滞
模糊
运动控制
像差补偿
Tolerance Sensitivity Research of Nano-star Sensor Optical System with Large Field
期刊论文
Guangzi Xuebao/Acta Photonica Sinica, 2019, 卷号: 48, 期号: 5
作者:
K.Zhang
;
X.Zhong
;
Y.Meng
;
J.Liu
Adobe PDF(5148Kb)
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浏览/下载:109/37
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提交时间:2020/08/24
Optical systems,Aberrations,Fits and tolerances,Lenses,Nanosensors,Sensitivity analysis,Stars
浸没式光刻投影物镜光学薄膜技术研究
学位论文
硕士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:
毕丹丹
caj(4243Kb)
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浏览/下载:195/0
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提交时间:2019/09/23
光学薄膜
浸没式光刻
大角度保偏膜系
浸液环境寿命
激光辐照寿命