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| 小型掠入射式近边X射线吸收谱仪的设计 期刊论文
中国光学, 2018, 期号: 02, 页码: 265-278
Authors: 陈晨曦阳; 金春水 ; 王君; 谢耀
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光谱仪 近边X射线吸收 掠入射 优化的装配方案 分辨率 |
| Design of a compact spectrometer under grazing incidence conditions for near-edge X-ray absorption spectroscopy;X 期刊论文
Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 2, 页码: 265-278
Authors: Chen, Chen-Xi-Yang; Jin, Chun-Shui; Wang, Jun; Xie, Yao
 View |  Adobe PDF(2513Kb) | Favorite | View/Download：479/154 | Submit date：2019/09/17
Spectrometers CCD cameras Laser produced plasmas Nitrogen plasma Optical resolving power Organic carbon Organic lasers Ray tracing X ray absorption spectroscopy |
| 改进型量子进化算法在宽带EUV多层膜设计中的应用 期刊论文
光学精密工程, 2017, 页码: 2046-2056
Authors: 匡尚奇; 张超; 王一名; 周祥燕; 谢耀
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薄膜光学 多层膜设计 改进型量子进化算法 宽带极紫外多层膜 |
| 基于量子进化算法的宽角度极紫外多层膜设计 期刊论文
光学学报, 2017, 页码: 347-355
Authors: 张超; 张杰瑞; 王一名; 匡尚奇; 谢耀
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薄膜 多层膜设计 量子进化算法 宽角度极紫外多层膜 |
| 量子进化算法在极紫外多层膜表征和设计中的应用 期刊论文
长春理工大学学报(自然科学版), 2016, 期号: 4
Authors: 梅雪峰; 匡尚奇; 谢耀
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Euv多层膜 量子进化算法 膜系设计 |
| 一种光机系统结构稳定性评估方法 期刊论文
激光与光电子学进展, 2016, 期号: 2, 页码: 124-128
Authors: 郭本银; 谢耀; 于杰; 王丽萍; 苗亮
caj(1232Kb) | Favorite | View/Download：312/127 | Submit date：2017/09/17
测量 长期稳定性 敏感矩阵 奇异值分解 |
| 微缩投影系统的垂轴放大率测量 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 1
Authors: 谢耀; 王丽萍; 郭本银; 王君; 苗亮; 王辉; 周烽
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成像系统 微缩投影系统 垂轴放大率测量 点衍射干涉仪 离焦 |
| 极紫外光刻物镜分组可视化界面设计优化 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 12, 页码: 135-143
Authors: 王君; 王丽萍; 金春水; 苗亮; 谢耀
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光学设计 极紫外光刻 可视化界面 初始结构 |
| 基于面形检测的光学元件多层膜均匀性测量 期刊论文
中国激光, 2015, 期号: 07, 页码: 267-272
Authors: 王辉; 周烽; 喻波; 谢耀; 于杰; 刘钰; 王丽萍
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测量 光刻技术 有限元分析 高复现性支撑装置 薄膜均匀性测量 |
| 微缩投影系统的计算机辅助装调 期刊论文
光学精密工程, 2014, 期号: 8, 页码: 2103-2108
Authors: 谢耀; 于杰; 王丽萍; 王辉; 周烽
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微缩投影系统 集成装调 计算机辅助装调 敏感度矩阵 奇异值分解 |
