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| 电磁驱动柔顺微定位平台闭环频域逆迭代学习控制 期刊论文
光学精密工程, 2021, 卷号: 29, 期号: 09, 页码: 2149-2157
作者: 张旭; 赖磊捷; 李朋志 ; 朱利民
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| 一种步进式压电陶瓷驱动器负载模型研究 期刊论文
现代电子技术, 2020, 卷号: 43, 期号: 02, 页码: 14-16+19
作者: 王学亮; 彭吉; 徐立松; 李朋志; 陈雪; 郑楠; 李佩玥
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压电陶瓷 步进式驱动器 定位控制 负载实验 多项式拟合 数据分析 |
| 压电促动器的纳米级精度控制及其在光刻物镜中的应用研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者: 李朋志
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光刻物镜 压电促动器 迟滞 模糊 运动控制 像差补偿 |
| 193nm投影光刻物镜光机系统关键技术研究进展 期刊论文
中国科学:技术科学, 2017, 页码: 565-581
作者: 张德福; 李显凌; 芮大为; 李朋志; 东立剑; 张建国
caj(2036Kb) | 收藏 | 浏览/下载：523/127 | 提交时间：2018/04/09
集成电路 光刻 投影物镜 波像差 调节机构 主动光学 |
| 光刻物镜热像差主动补偿系统设计与实验 期刊论文
光学学报, 2017, 页码: 302-310
作者: 东立剑; 崔庆龙; 李朋志; 赵磊
caj(3959Kb) | 收藏 | 浏览/下载：330/87 | 提交时间：2018/04/09
光学设计 光刻物镜 热像差 主动光学 像散 响应函数 |
| 高精度六维激光测量系统误差补偿算法研究 期刊论文
电子测量与仪器学报, 2016, 期号: 8, 页码: 1275-1281
作者: 尹志生; 李友如; 李佩玥; 郭抗; 李朋志
caj(904Kb) | 收藏 | 浏览/下载：290/122 | 提交时间：2017/09/17
双频激光干涉仪 六自由度位姿检测 误差补偿 齐次变换 |
| 电容式位移传感器的线性度标定与不确定度评定 期刊论文
光学精密工程, 2015, 期号: 09, 页码: 2546-2552
作者: 葛川; 张德福; 李朋志; 郭抗; 李佩玥; 杨怀江
caj(532Kb) | 收藏 | 浏览/下载：288/91 | 提交时间：2016/07/06
电容传感器 位移传感器 标定 线性度 不确定度 光刻投影物镜 |
| 电阻应变式位移传感器电路设计与实现 期刊论文
国外电子测量技术, 2015, 期号: 06, 页码: 58-61
作者: 葛川; 李朋志; 徐立松; 李佩玥
caj(1203Kb) | 收藏 | 浏览/下载：373/157 | 提交时间：2016/07/06
应变 位移传感器 压电陶瓷 |
| 高精度位移传感器线性度标定方法研究 期刊论文
仪器仪表学报, 2015, 期号: 05, 页码: 982-988
作者: 张德福; 葛川; 李显凌; 倪明阳; 郭抗; 李朋志
caj(686Kb) | 收藏 | 浏览/下载：291/80 | 提交时间：2016/07/06
传感器 标定 线性度 柔度矩阵 |
| 压电陶瓷定位系统电容传感器容错控制 期刊论文
现代电子技术, 2014, 期号: 21, 页码: 152-155
作者: 郭嘉亮; 李朋志; 李佩玥
caj(1664Kb) | 收藏 | 浏览/下载：358/131 | 提交时间：2015/04/17
压电陶瓷 电容传感器 扩展卡尔曼滤波(Ekf) 容错控制 |
