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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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方超 [3]
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光刻物镜系统波像差横向剪切干涉绝对检测方法研究
学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:
张璐
caj(6271Kb)
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提交时间:2020/08/24
光刻物镜
光学检测
波像差
光栅横向剪切干涉仪
绝对检测
投影光刻物镜像质补偿策略与补偿技术研究
学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:
赵磊
caj(8435Kb)
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浏览/下载:134/0
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提交时间:2020/08/24
投影光刻物镜
像质补偿技术
柔顺微动机构
主动变形镜
Tolerance Sensitivity Research of Nano-star Sensor Optical System with Large Field
期刊论文
Guangzi Xuebao/Acta Photonica Sinica, 2019, 卷号: 48, 期号: 5
作者:
K.Zhang
;
X.Zhong
;
Y.Meng
;
J.Liu
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浏览/下载:109/37
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提交时间:2020/08/24
Optical systems,Aberrations,Fits and tolerances,Lenses,Nanosensors,Sensitivity analysis,Stars
光刻物镜系统波像差横向剪切干涉测量研究
学位论文
博士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:
方超
caj(4184Kb)
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提交时间:2019/09/23
系统波像差
光栅横向剪切干涉
相位复原算法
零级串扰误差
重复精度
抑制零级串扰的光栅横向剪切干涉测量
期刊论文
中国激光, 2018, 期号: 05, 页码: 139-144
作者:
方超
;
向阳
;
齐克奇
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提交时间:2019/09/17
测量
光栅
相位
干涉
串扰
重复精度
Optical coatings for projection objective immersion lithography
期刊论文
Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 5, 页码: 745-764
作者:
Bi, Dan-Dan
;
Zhang, Li-Chao
;
Shi, Guang
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提交时间:2019/09/17
Optical films
Integrated circuit manufacture
Irradiation
Lithography
Optical coatings
Optical systems
Study on High Precision Magnification Measurement of Imaging Systems
期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2018, 卷号: 38, 期号: 7
作者:
Dong, Guanji
;
Tang, Feng
;
Wang, Xiangzhao
;
Feng, Peng
;
Guo, Fudong
;
Peng, Changzhe
Adobe PDF(4169Kb)
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提交时间:2019/09/17
Interferometry
CCD cameras
Diffraction
Imaging systems
Measurement
Uncertainty analysis
Grating Lateral Shearing Interferometry for Suppressing Zero-Order Crosstalk
期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2018, 卷号: 45, 期号: 5
作者:
Fang, Chao
;
Xiang, Yang
;
Qi, Keqi
Adobe PDF(403Kb)
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提交时间:2019/09/17
Aberrations
Crosstalk
Interferometry
Measurement
Photolithography
Shearing
Wave interference
Wavefronts
投影光刻物镜偏振像差研究
学位论文
博士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:
周泽龙
caj(5354Kb)
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浏览/下载:187/0
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提交时间:2019/09/23
投影光刻物镜
偏振像差
琼斯矩阵
穆勒矩阵
193nm投影光刻物镜光机系统关键技术研究进展
期刊论文
中国科学:技术科学, 2017, 页码: 565-581
作者:
张德福
;
李显凌
;
芮大为
;
李朋志
;
东立剑
;
张建国
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提交时间:2018/04/09
集成电路
光刻
投影物镜
波像差
调节机构
主动光学