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| 短相干菲索型动态干涉仪的关键技术研究 学位论文 , 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019 作者: 樊孝贺 caj(4313Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:121/0  |  提交时间:2020/08/24 短相干 菲索型 动态干涉仪 条纹图配准 相位解包裹 误差补偿 |
| Grating Lateral Shearing Interferometry for Suppressing Zero-Order Crosstalk 期刊论文 Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2018, 卷号: 45, 期号: 5 作者: Fang, Chao; Xiang, Yang; Qi, Keqi 浏览  |  Adobe PDF(403Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:260/100  |  提交时间:2019/09/17 Aberrations Crosstalk Interferometry Measurement Photolithography Shearing Wave interference Wavefronts |
| 条纹投影与相位偏折测量技术研究进展 期刊论文 红外与激光工程, 2017, 页码: 193-202 作者: 刘东; 严天亮; 王道档; 杨甬英; 黄玮 caj(601Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:376/142  |  提交时间:2018/04/09 条纹投影轮廓测量 相位偏折测量 对比 精度 速度 |
| Review of fringe-projection profilometry and phase measuring deflectometry 期刊论文 Hongwai yu Jiguang Gongcheng/Infrared and Laser Engineering, 2017, 卷号: 46, 期号: 9 作者: Liu, D.; T. Yan; D. Wang; Y. Yang and W. Huang 浏览  |  Adobe PDF(790Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:461/189  |  提交时间:2018/06/13 |
| 干涉测量波面重构DCT算法研究 期刊论文 中国光学, 2014, 期号: 6, 页码: 1012-1018 作者: 王永伟; 艾华; 卓仁善; 曹艳波 caj(544Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:410/129  |  提交时间:2015/04/17 干涉测量 离散余弦变换 相位解包裹 最小二乘法 曲面拟合 |
| 光纤点衍射干涉仪波面参考源研究 学位论文 : 中国科学院大学, 2014 作者: 代晓珂 Adobe PDF(2717Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:244/2  |  提交时间:2015/05/03 光学检测 极紫外光刻 波面参考源 偏振控制 |
| 干涉仪的仪器传递函数检测方法研究 学位论文 : 中国科学院大学, 2013 作者: 孙鸽 Adobe PDF(2452Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:410/2  |  提交时间:2014/03/15 菲索型干涉仪 干涉仪的仪器传递函数 空间频率响应特性 标准测试板 |
| 基于电子散斑剪切干涉技术的振动检测研究 期刊论文 长春理工大学学报(自然科学版), 2011, 卷号: 34, 期号: 3 作者: 于长淞 Adobe PDF(1430Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:456/111  |  提交时间:2012/05/11 |