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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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二维光栅位移测量技术综述
期刊论文
中国光学, 2020, 卷号: 13, 期号: 06, 页码: 1224-1238
作者:
尹云飞
;
刘兆武
;
吉日嘎兰图
;
于宏柱
;
王玮
;
李晓天
;
鲍赫
;
李文昊
;
郝群
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提交时间:2021/07/06
二维光栅
光栅干涉技术
精密位移测量
Overview of 2D grating displacement measurement technology
期刊论文
Chinese Optics, 2020, 卷号: 13, 期号: 6, 页码: 1224-1238
作者:
Y.-F. Yin,Z.-W. Liu,J. Jirigalantu,H.-Z. Yu,W. Wang,X.-T. Li,H. Bao,W.-H. Li and Q. Hao
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提交时间:2021/07/06
Trajectory-fitting and testing error analysis of stage for curved grating etching
期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2018, 卷号: 26, 期号: 3, 页码: 588-596
作者:
Shen, Chen
;
Tan, Xin
;
Zhu, Ji-Wei
;
Zhang, Wei
;
Qi, Xiang-Dong
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提交时间:2019/09/17
Curve fitting
Diffraction gratings
Errors
Etching
Profile online detection for two-dimensional stage x axis mirror in scanning exposure systems
期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 1
作者:
Liu, Z.
;
W. Li
;
Bayanheshig
;
Y. Song
;
S. Jiang
;
X. Li and Q. Lu
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提交时间:2018/06/13
纳米精度二维工作台测量镜的面形误差在线检测
期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 9, 页码: 2134-2141
作者:
刘兆武
;
李文昊
;
王敬开
;
姜珊
;
宋莹
;
潘明忠
;
巴音贺希格
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提交时间:2017/09/17
激光干涉仪
纳米二维工作台
测量镜
面形误差
在线检测
大行程纳米级定位工作台的结构设计
期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 5, 页码: 1065-1071
作者:
陈琦
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提交时间:2017/09/17
扫描干涉光刻系统
高精度工作台
气体静压导轨
摩擦驱动
纳米级定位
扫描曝光系统中二维工作台x轴测量镜的面形在线检测
期刊论文
中国激光, 2016, 页码: 231-236
作者:
刘兆武
;
李文昊
;
巴音贺希格
;
宋莹
;
姜珊
;
李晓天
;
吕强
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提交时间:2018/04/09
测量
光检测技术
二维工作台
测量镜面形
光栅
激光干涉仪
Online detection of profile deviation for nano precision 2-D stage mirror
期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 9
作者:
Liu, Z.-W.
;
W.-H. Li
;
J.-K. Wang
;
S. Jiang
;
Y. Song
;
M.-Z. Pan and Bayanheshig
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提交时间:2017/09/11
Structure design of nanometer positioning stage with a large stroke
期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 5
作者:
Chen, Q.
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提交时间:2017/09/11
扫描干涉场曝光系统中干涉条纹周期精确测量方法
期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 07, 页码: 55-64
作者:
姜珊
;
巴音贺希格
;
潘明忠
;
李文昊
;
宋莹
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提交时间:2016/07/06
光栅
扫描干涉场曝光系统
干涉条纹周期测量
相位锁定