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Simple and compact grating-based heterodyne interferometer with the Littrow configuration for high-accuracy and long-range measurement of two-dimensional displacement 期刊论文
APPLIED OPTICS, 2018, 卷号: 57, 期号: 31, 页码: 9455-9463
Authors:  Lv, Qiang;  Liu, Zhaowu;  Wang, Wei;  Li, Xiaotian;  Li, Shuo;  Song, Ying;  Yu, Hongzhu;  Bayanheshig;  Li, Wenhao
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laser  nonlinearity  encoder  errors  stage  Optics  
Offner成像光谱仪的消像差技术 期刊论文
光学精密工程, 2017, 页码: 3001-3011
Authors:  赵美红;  李文昊;  巴音贺希格;  吕强
caj(413Kb)  |  Favorite  |  View/Download：68/21  |  Submit date：2018/04/09
Offner成像系统  成像光谱仪  像差校正  凸面全息光栅  
紫外高分辨率像散校正型罗兰全息光栅设计 期刊论文
光谱学与光谱分析, 2017, 页码: 3616-3620
Authors:  赵旭龙;  巴音贺希格;  李文昊;  姜岩秀;  吴娜;  张桐
caj(1328Kb)  |  Favorite  |  View/Download：65/21  |  Submit date：2018/04/09
罗兰光栅  像散校正  光栅设计  
基于衍射光栅的干涉式精密位移测量系统 期刊论文
中国光学, 2017, 页码: 39-50
Authors:  吕强;  李文昊;  巴音贺希格;  柏杨;  刘兆武;  王玮
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位移测量  光栅  衍射干涉  高精度  
扫描干涉场曝光系统中光束对准误差及其控制 期刊论文
光学学报, 2017, 页码: 247-256
Authors:  王玮;  巴音贺希格;  潘明忠;  宋莹;  李文昊
caj(798Kb)  |  Favorite  |  View/Download：40/11  |  Submit date：2018/04/09
光学设计  光栅  扫描干涉场曝光  光束对准  曝光对比度  位置解耦  角度解耦  
纳米精度二维工作台测量镜的面形误差在线检测 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 9, 页码: 2134-2141
Authors:  刘兆武;  李文昊;  王敬开;  姜珊;  宋莹;  潘明忠;  巴音贺希格
caj(466Kb)  |  Favorite  |  View/Download：53/15  |  Submit date：2017/09/17
激光干涉仪  纳米二维工作台  测量镜  面形误差  在线检测  
光谱仪中球面聚焦反射镜和凹面全息光栅像差互补的一体化设计 期刊论文
光学学报, 2016, 期号: 6, 页码: 68-77
Authors:  赵旭龙;  巴音贺希格;  李文昊;  姜岩秀;  杨硕
caj(409Kb)  |  Favorite  |  View/Download：64/46  |  Submit date：2017/09/17
光栅  消像差凹面全息  一体化设计  光栅设计  球面聚焦反射镜  光程函数  
在线诊断光谱仪用光栅制作误差对光谱成像的影响及补偿 期刊论文
光谱学与光谱分析, 2016, 期号: 3, 页码: 857-863
Authors:  姜岩秀;  巴音贺希格;  杨硕;  赵旭龙;  吴娜;  李文昊
caj(386Kb)  |  Favorite  |  View/Download：51/18  |  Submit date：2017/09/17
平面变栅距全息光栅  分辨率  刻线密度误差  聚焦曲线  谱像宽度  
扫描曝光系统中二维工作台x轴测量镜的面形在线检测 期刊论文
中国激光, 2016, 页码: 231-236
Authors:  刘兆武;  李文昊;  巴音贺希格;  宋莹;  姜珊;  李晓天;  吕强
caj(310Kb)  |  Favorite  |  View/Download：34/6  |  Submit date：2018/04/09
测量  光检测技术  二维工作台  测量镜面形  光栅  激光干涉仪  
极紫外波段变栅距光栅刻槽密度变化及光谱分辨能力分析 期刊论文
发光学报, 2015, 期号: 09, 页码: 1094-1099
Authors:  李文昊;  姜岩秀;  吴娜;  张桐;  王鹍
caj(1565Kb)  |  Favorite  |  View/Download：55/20  |  Submit date：2016/07/06
变栅距光栅  球面波  刻槽密度  光谱分辨能力