CIOMP OpenIR

Browse/Search Results:  1-8 of 8 Help

Selected(0)Clear Items/Page:    Sort:
基于灰度插值的条纹图像位移亚像素检测算法 期刊论文
光学学报, 2021, 卷号: 41, 期号: 10, 页码: 133-141
Authors:  李舒航;  高旭;  刘兆武;  胡文浩
View  |  Adobe PDF(4210Kb)  |  Favorite  |  View/Download:19/1  |  Submit date:2022/06/29
二维光栅位移测量技术综述 期刊论文
中国光学, 2020, 卷号: 13, 期号: 06, 页码: 1224-1238
Authors:  尹云飞;  刘兆武;  吉日嘎兰图;  于宏柱;  王玮;  李晓天;  鲍赫;  李文昊;  郝群
View  |  Adobe PDF(2717Kb)  |  Favorite  |  View/Download:43/6  |  Submit date:2021/07/06
二维光栅  光栅干涉技术  精密位移测量  
五维自由度衍射光栅精密测量系统(英文) 期刊论文
中国光学, 2020, 卷号: 13, 期号: 01, 页码: 189-202
Authors:  吕强;  王玮;  刘兆武;  宋莹;  姜珊;  刘林;  巴音贺希格;  李文昊
View  |  Adobe PDF(3195Kb)  |  Favorite  |  View/Download:36/0  |  Submit date:2021/07/06
衍射光栅  精密测量  五维自由度  
Simple and compact grating-based heterodyne interferometer with the Littrow configuration for high-accuracy and long-range measurement of two-dimensional displacement 期刊论文
APPLIED OPTICS, 2018, 卷号: 57, 期号: 31, 页码: 9455-9463
Authors:  Lv, Qiang;  Liu, Zhaowu;  Wang, Wei;  Li, Xiaotian;  Li, Shuo;  Song, Ying;  Yu, Hongzhu;  Bayanheshig;  Li, Wenhao
View  |  Adobe PDF(1611Kb)  |  Favorite  |  View/Download:213/61  |  Submit date:2019/08/26
laser  nonlinearity  encoder  errors  stage  Optics  
Seya-Namioka单色仪中光栅曲率半径误差的影响及补偿 期刊论文
中国光学, 2018, 期号: 04, 页码: 623-629
Authors:  孟竹;  谭鑫;  巴音贺希格;  王玮;  刘兆武;  赵旭龙
Favorite  |  View/Download:234/0  |  Submit date:2019/09/17
曲率半径误差  Seya-Namioka光栅  光线追迹  使用参数  误差补偿  
基于衍射光栅的干涉式精密位移测量系统 期刊论文
中国光学, 2017, 页码: 39-50
Authors:  吕强;  李文昊;  巴音贺希格;  柏杨;  刘兆武;  王玮
caj(407Kb)  |  Favorite  |  View/Download:259/69  |  Submit date:2018/04/09
位移测量  光栅  衍射干涉  高精度  
纳米精度二维工作台测量镜的面形误差在线检测 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 9, 页码: 2134-2141
Authors:  刘兆武;  李文昊;  王敬开;  姜珊;  宋莹;  潘明忠;  巴音贺希格
caj(466Kb)  |  Favorite  |  View/Download:239/66  |  Submit date:2017/09/17
激光干涉仪  纳米二维工作台  测量镜  面形误差  在线检测  
扫描曝光系统中二维工作台x轴测量镜的面形在线检测 期刊论文
中国激光, 2016, 页码: 231-236
Authors:  刘兆武;  李文昊;  巴音贺希格;  宋莹;  姜珊;  李晓天;  吕强
caj(310Kb)  |  Favorite  |  View/Download:209/58  |  Submit date:2018/04/09
测量  光检测技术  二维工作台  测量镜面形  光栅  激光干涉仪