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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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向阳 [1]
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Correction Algorithm of Systemic Errors in Grating Lateral-Shearing Interferometer
期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2018, 卷号: 45, 期号: 8
作者:
Zhang, Lu
;
Xiang, Yang
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提交时间:2019/09/17
Shearing
Aberrations
Errors
Interferometers
Measurement
Wavefronts
Study on High Precision Magnification Measurement of Imaging Systems
期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2018, 卷号: 38, 期号: 7
作者:
Dong, Guanji
;
Tang, Feng
;
Wang, Xiangzhao
;
Feng, Peng
;
Guo, Fudong
;
Peng, Changzhe
Adobe PDF(4169Kb)
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提交时间:2019/09/17
Interferometry
CCD cameras
Diffraction
Imaging systems
Measurement
Uncertainty analysis
成像系统倍率高精度测量技术研究
期刊论文
光学学报, 2018, 期号: 07, 页码: 167-176
作者:
董冠极
;
唐锋
;
王向朝
;
冯鹏
;
郭福东
;
彭常哲
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提交时间:2019/09/17
测量
倍率
Zernike多项式
点衍射干涉法
微缩投影系统的垂轴放大率测量
期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 1
作者:
谢耀
;
王丽萍
;
郭本银
;
王君
;
苗亮
;
王辉
;
周烽
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提交时间:2017/09/17
成像系统
微缩投影系统
垂轴放大率测量
点衍射干涉仪
离焦
Spectral calibration of medical microscopic imaging spectrometer
期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 5
作者:
Wei, W.
;
J.-C. Cui
;
Y.-G. Tang
;
C. Sun and M.-Z. Pan
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提交时间:2017/09/11
Measurement of transversal magnification for reduced projection system
期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 1
作者:
Xie, Y.
;
L.-P. Wang
;
B.-Y. Guo
;
J. Wang
;
L. Miao
;
H. Wang and F. Zhou
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提交时间:2017/09/11
光纤相移点衍射干涉仪关键技术
期刊论文
红外与激光工程, 2015, 期号: 01, 页码: 254-259
作者:
张宇
;
金春水
;
马冬梅
;
王丽萍
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提交时间:2016/07/06
高精度检测
光纤相移点衍射干涉仪
光学系统波像差
激光光源
光纤
Error correction of interferometer detection with high-accuracy rotation method
期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2015, 卷号: 23, 期号: 5, 页码: 1297-1303
作者:
Han, D.-S.
;
X. He
;
Z.-H. Wei and Y.-M. Li
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提交时间:2016/08/24
光纤点衍射干涉仪中球面参考源偏振控制系统的设计
期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 11, 页码: 136-142
作者:
代晓珂
;
金春水
;
王丽萍
;
于杰
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提交时间:2015/04/17
光学设计
极紫外光刻
光纤点衍射
球面参考源
偏振控制
光纤点衍射干涉仪波面参考源研究
学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:
代晓珂
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提交时间:2015/05/03
光学检测
极紫外光刻
波面参考源
偏振控制