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用于高精度非球面面形检测的计算全息图的设计 期刊论文
激光与光电子学进展, 2016, 期号: 9, 页码: 70-77
作者:  高松涛;  武东城;  于长淞
caj(3281Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：367/103  |  提交时间：2017/09/17
测量  计算全息图  非球面  投影光刻物镜  衍射鬼像  干涉仪  
超高精度非球面面形检测技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  高松涛
Adobe PDF(6107Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：475/3  |  提交时间：2014/08/21