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采用整体最小二乘法的条纹图配准方法 期刊论文
中国光学, 2016, 期号: 6, 页码: 625-632
作者:  穆治亚;  艾华;  樊孝贺;  何昕;  何丁龙;  韩冬松;  于国栋
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共光路动态干涉仪  条纹图配准  整体最小二乘法  
基于双频激光干涉仪的精密定位系统设计 期刊论文
实验室研究与探索, 2016, 期号: 11, 页码: 72-75
作者:  陈昊;  陈琦;  蒋贵德
caj(227Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：469/116  |  提交时间：2017/09/17
双频激光干涉仪  气浮导轨  精密定位  前馈控制  
纳米精度二维工作台测量镜的面形误差在线检测 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 9, 页码: 2134-2141
作者:  刘兆武;  李文昊;  王敬开;  姜珊;  宋莹;  潘明忠;  巴音贺希格
caj(466Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：350/98  |  提交时间：2017/09/17
激光干涉仪  纳米二维工作台  测量镜  面形误差  在线检测  
高精度六维激光测量系统误差补偿算法研究 期刊论文
电子测量与仪器学报, 2016, 期号: 8, 页码: 1275-1281
作者:  尹志生;  李友如;  李佩玥;  郭抗;  李朋志
caj(904Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：314/136  |  提交时间：2017/09/17
双频激光干涉仪  六自由度位姿检测  误差补偿  齐次变换  
基于波前法的光栅拼接误差检测及计算方法 期刊论文
光学学报, 2016, 期号: 5, 页码: 22-31
作者:  卢禹先;  齐向东;  糜小涛;  姜珊;  于海利;  李晓天;  尹禄
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衍射  光栅拼接  干涉仪  衍射波前  拼接误差  
微缩投影系统的垂轴放大率测量 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 1
作者:  谢耀;  王丽萍;  郭本银;  王君;  苗亮;  王辉;  周烽
caj(532Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：312/107  |  提交时间：2017/09/17
成像系统  微缩投影系统  垂轴放大率测量  点衍射干涉仪  离焦  
扫描曝光系统中二维工作台x轴测量镜的面形在线检测 期刊论文
中国激光, 2016, 页码: 231-236
作者:  刘兆武;  李文昊;  巴音贺希格;  宋莹;  姜珊;  李晓天;  吕强
caj(310Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：287/74  |  提交时间：2018/04/09
测量  光检测技术  二维工作台  测量镜面形  光栅  激光干涉仪  
用于高精度非球面面形检测的计算全息图的设计 期刊论文
激光与光电子学进展, 2016, 期号: 9, 页码: 70-77
作者:  高松涛;  武东城;  于长淞
caj(3281Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：380/106  |  提交时间：2017/09/17
测量  计算全息图  非球面  投影光刻物镜  衍射鬼像  干涉仪  
基于双频激光干涉仪大载荷纳米微动台的研制 期刊论文
实验室研究与探索, 2014, 期号: 12, 页码: 54-57
作者:  陈琦;  钟君
caj(165Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：337/119  |  提交时间：2015/04/17
压电陶瓷  纳米定位  气浮导轨  激光干涉仪  
光电式光栅刻划机干涉控制系统及精度分析 期刊论文
长春工业大学学报(自然科学版), 2014, 期号: 6, 页码: 633-638
作者:  张成山;  孟庆孔
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光电式光栅刻划机  衍射光栅干涉仪  莫尔条纹