Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 光电式光栅刻划机干涉控制系统及精度分析 | |
| 张成山; 孟庆孔 | |
| 2014-12-15 | |
| 发表期刊 | 长春工业大学学报(自然科学版)
 |
| 期号 | 6页码:633-638 |
| 摘要 | 采用莫尔条纹法对光栅干涉仪在工作过程中产生的干涉条纹进行分析,利用莫尔条纹的平均误差作用减少光栅刻划过程中的局部误差。实验研究表明,该方法控制光栅刻划机刻划出300l/mm和600l/mm的光栅,受环境影响小、结构简单且装调方便。 |
| 关键词 | 光电式光栅刻划机 衍射光栅干涉仪 莫尔条纹 |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/43631 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张成山,孟庆孔. 光电式光栅刻划机干涉控制系统及精度分析[J]. 长春工业大学学报(自然科学版),2014(6):633-638. |
| APA | 张成山,&孟庆孔.(2014).光电式光栅刻划机干涉控制系统及精度分析.长春工业大学学报(自然科学版)(6),633-638. |
| MLA | 张成山,et al."光电式光栅刻划机干涉控制系统及精度分析".长春工业大学学报(自然科学版) .6(2014):633-638. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 光电式光栅刻划机干涉控制系统及精度分析.（242KB） | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |||
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