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| 电磁驱动柔顺微定位平台闭环频域逆迭代学习控制 期刊论文
光学精密工程, 2021, 卷号: 29, 期号: 09, 页码: 2149-2157
作者: 张旭; 赖磊捷; 李朋志 ; 朱利民
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| Closed-loop inverse iterative learning control in frequency-domain for electromagnetic driven compliant micro-positioning platform 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2021, 卷号: 29, 期号: 9, 页码: 2149-2157
作者: X. Zhang; L.-J. Lai; P.-Z. Li and L.-M. Zhu
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| Design of Spot Size and Optical Path in Scanning Beam Interference Lithography System 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 9
作者: Wang, W.; S. Jiang; Y. Song and Bayanheshig
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| Structure design of nanometer positioning stage with a large stroke 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 5
作者: Chen, Q.
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| 应用于三维STORM超分辨率成像的轴向纳米定位技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2015
作者: 张世超
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三维 超分辨率成像 荧光显微镜 柱透镜 标定曲线 |
| Active control technology to correct the quality of the grating wave-front 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2015, 卷号: 42, 期号: 1
作者: Yang, C.; H. Yu; S. Zhang; H. Yu; X. Li and Y. Tang
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| 压电陶瓷两维偏摆镜驱动系统的设计 学位论文
: 中国科学院大学, 2015
作者: 吴伊玲
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压电陶瓷 两维偏摆镜 驱动控制系统 改进非对称pi迟滞模型 前馈pid控制 |
| 菲索干涉仪移相器关键技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2015
作者: 毛石磊
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菲索干涉仪 移相器 微位移 柔性铰链 压电陶瓷 |
| 基于双频激光干涉仪大载荷纳米微动台的研制 期刊论文
实验室研究与探索, 2014, 期号: 12, 页码: 54-57
作者: 陈琦; 钟君
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压电陶瓷 纳米定位 气浮导轨 激光干涉仪 |
| 全息光栅曝光系统干涉条纹静态及动态相位锁定技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 宋莹
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全息光栅曝光 扫描干涉场曝光 干涉条纹 移频式 静态相位锁定 动态相位锁定 Aom |
