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基于联合像差求解的紧凑型大视场光学设计 期刊论文
光学学报, 2022, 卷号: 42, 期号: 21, 页码: 103-111
作者:  曲正;  钟兴;  张坤;  王远航;  李磊;  吴思鹏
浏览  |  Adobe PDF(1745Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：94/37  |  提交时间：2023/05/18
基于灰度插值的条纹图像位移亚像素检测算法 期刊论文
光学学报, 2021, 卷号: 41, 期号: 10, 页码: 133-141
作者:  李舒航;  高旭;  刘兆武;  胡文浩
浏览  |  Adobe PDF(4210Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：114/52  |  提交时间：2022/06/29
Mo/Si原子高能量沉积中反射和再溅射的研究 期刊论文
光学学报, 2020, 卷号: 40, 期号: 11, 页码: 46-53
作者:  孙诗壮;  金春水;  喻波;  郭涛;  姚舜;  李春;  邓文渊
浏览  |  Adobe PDF(3802Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：242/94  |  提交时间：2021/07/06
原子与分子物理学  分子动力学  反射  再溅射  Mo/Si原子  角度分布  能量分布  
Mo/Si多层膜表面粗糙度相关镀膜工艺的研究 期刊论文
光学学报, 2020, 卷号: 40, 期号: 10, 页码: 196-202
作者:  孙诗壮;  金春水;  喻波;  郭涛;  姚舜;  李春;  邓文渊
浏览  |  Adobe PDF(2105Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：143/41  |  提交时间：2021/07/06
薄膜  Mo/Si多层膜  极紫外光刻  磁控溅射  表面粗糙度  功率谱密度  
成像系统倍率高精度测量技术研究 期刊论文
光学学报, 2018, 期号: 07, 页码: 167-176
作者:  董冠极;  唐锋;  王向朝;  冯鹏;  郭福东;  彭常哲
收藏  |  浏览/下载：206/0  |  提交时间：2019/09/17
测量  倍率  Zernike多项式  点衍射干涉法  
光刻物镜热像差主动补偿系统设计与实验 期刊论文
光学学报, 2017, 页码: 302-310
作者:  东立剑;  崔庆龙;  李朋志;  赵磊
caj(3959Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：333/88  |  提交时间：2018/04/09
光学设计  光刻物镜  热像差  主动光学  像散  响应函数  
扫描干涉场曝光系统中光束对准误差及其控制 期刊论文
光学学报, 2017, 页码: 247-256
作者:  王玮;  巴音贺希格;  潘明忠;  宋莹;  李文昊
caj(798Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：318/101  |  提交时间：2018/04/09
光学设计  光栅  扫描干涉场曝光  光束对准  曝光对比度  位置解耦  角度解耦  
径向预紧力对反射镜重力变形的补偿作用 期刊论文
光学学报, 2016, 期号: 4, 页码: 276-283
作者:  贾树强;  黄玮;  徐象如;  姚长呈
caj(1656Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：290/102  |  提交时间：2017/09/17
光学器件  表面变形  面形补偿  预紧力  有限元方法  
光刻物镜中主动透镜的变形和像差特性 期刊论文
光学学报, 2016, 期号: 4, 页码: 261-268
作者:  姚长呈;  巩岩
caj(1449Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：261/125  |  提交时间：2017/09/17
光学设计  主动光学  光刻物镜  热像差补偿  像散  
极紫外光刻物镜分组可视化界面设计优化 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 12, 页码: 135-143
作者:  王君;  王丽萍;  金春水;  苗亮;  谢耀
caj(1576Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：321/97  |  提交时间：2016/07/06
光学设计  极紫外光刻  可视化界面  初始结构