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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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赵磊 [1]
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投影光刻物镜像质补偿策略与补偿技术研究
学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:
赵磊
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提交时间:2020/08/24
投影光刻物镜
像质补偿技术
柔顺微动机构
主动变形镜
Design and experiment of active compensation system for thermal aberration of lithographic lens
期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2017, 卷号: 37, 期号: 3
作者:
Dong, L.
;
Q. Cui
;
P. Li and L. Zhao
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提交时间:2018/06/13
光刻物镜中主动透镜的变形和像差特性
期刊论文
光学学报, 2016, 期号: 4, 页码: 261-268
作者:
姚长呈
;
巩岩
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提交时间:2017/09/17
光学设计
主动光学
光刻物镜
热像差补偿
像散
Research on deformation and aberration of active plate used in lithographic objective
期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2016, 卷号: 36, 期号: 4
作者:
Yao, C. and Y. Gong
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提交时间:2017/09/11
同轴两反式高NA投影光刻物镜热像差补偿方法研究
期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 10, 页码: 111-118
作者:
徐象如
;
黄玮
;
贾树强
;
徐明飞
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提交时间:2016/07/06
成像系统
投影光刻物镜
热像差
元件位移
分区加热