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基于自适应卡尔曼算法的单探测器解耦控制技术研究 期刊论文
红外与激光工程, 2022, 卷号: 51, 期号: 06, 页码: 345-352
作者:  董全睿;  王伟国;  陈飞;  陈涛;  张振东;  刘廷霞
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扫描干涉场曝光系统中光束对准误差及其控制 期刊论文
光学学报, 2017, 页码: 247-256
作者:  王玮;  巴音贺希格;  潘明忠;  宋莹;  李文昊
caj(798Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：316/101  |  提交时间：2018/04/09
光学设计  光栅  扫描干涉场曝光  光束对准  曝光对比度  位置解耦  角度解耦  
Beam Alignment Error and Its Control in Scanning Beam Interference Lithography System 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2017, 卷号: 37, 期号: 7
作者:  Wang, W.;  Bayanheshig;  M. Pan;  Y. Song and W. Li
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Beam alignment and convergence analysis of scanning beam interference lithography systems 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2016, 卷号: 43, 期号: 12
作者:  Wang, W.;  Bayanheshig;  Y. Song;  S. Jiang and M. Pan
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