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扫描干涉场曝光系统中光束对准误差及其控制 期刊论文
光学学报, 2017, 页码: 247-256
作者:  王玮;  巴音贺希格;  潘明忠;  宋莹;  李文昊
caj(798Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：313/100  |  提交时间：2018/04/09
光学设计  光栅  扫描干涉场曝光  光束对准  曝光对比度  位置解耦  角度解耦  
Beam Alignment Error and Its Control in Scanning Beam Interference Lithography System 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2017, 卷号: 37, 期号: 7
作者:  Wang, W.;  Bayanheshig;  M. Pan;  Y. Song and W. Li
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声子晶体点缺陷模式质量传感的位置解耦方法 期刊论文
压电与声光, 2016, 期号: 3, 页码: 382-385
作者:  龙斌;  李鹏;  刘永顺;  李峰;  吴一辉
caj(273Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：346/120  |  提交时间：2017/09/17
质量传感器  声子晶体  位置解耦  点缺陷  灵敏度  
Beam alignment and convergence analysis of scanning beam interference lithography systems 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2016, 卷号: 43, 期号: 12
作者:  Wang, W.;  Bayanheshig;  Y. Song;  S. Jiang and M. Pan
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硅基平板声子晶体传感器高灵敏度 学位论文
: 中国科学院大学, 2015
作者:  龙斌
Adobe PDF(3172Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：183/2  |  提交时间：2016/04/11
声子晶体  缺陷态  质量灵敏度  磁性微粒