Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 光刻物镜中主动透镜的变形和像差特性 | |
姚长呈; 巩岩
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| 2016-04-10 | |
| 发表期刊 | 光学学报
 |
| 期号 | 4页码:261-268 |
| 摘要 | 高精度光刻投影物镜在工作过程中吸收激光能量产生热像差,在离轴照明模式(如偶极照明)下,热像散显著且随时间变化,传统的被动光学方法无法补偿此类像差。提出在折射式光刻投影物镜系统中使用主动光学的方法,通过力促动器作用在透镜上使镜片变形以补偿初阶热像散。采用有限元分析方法,分析了简化的折射平板在促动力作用下的变形特点和像差特性;用几何光学理论近似论证了该补偿方案的可行性,并且分析了促动器分布、促动力大小、促动器与平板接触区域尺寸以及支撑结构对平板变形的影响。结果表明,在优化的支撑结构下,主动平板可以较好地补偿系统初阶热像散和初阶四叶像差,为光刻系统热像差的补偿提供了一个思路。 |
| 关键词 | 光学设计 主动光学 光刻物镜 热像差补偿 像散 |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/57936 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 姚长呈,巩岩. 光刻物镜中主动透镜的变形和像差特性[J]. 光学学报,2016(4):261-268. |
| APA | 姚长呈,&巩岩.(2016).光刻物镜中主动透镜的变形和像差特性.光学学报(4),261-268. |
| MLA | 姚长呈,et al."光刻物镜中主动透镜的变形和像差特性".光学学报 .4(2016):261-268. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 光刻物镜中主动透镜的变形和像差特性.ca（1449KB） | 期刊论文 | 作者接受稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |
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