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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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光刻物镜系统波像差横向剪切干涉绝对检测方法研究
学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:
张璐
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提交时间:2020/08/24
光刻物镜
光学检测
波像差
光栅横向剪切干涉仪
绝对检测
Correction Algorithm of Systemic Errors in Grating Lateral-Shearing Interferometer
期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2018, 卷号: 45, 期号: 8
作者:
Zhang, Lu
;
Xiang, Yang
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提交时间:2019/09/17
Shearing
Aberrations
Errors
Interferometers
Measurement
Wavefronts
Study on High Precision Magnification Measurement of Imaging Systems
期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2018, 卷号: 38, 期号: 7
作者:
Dong, Guanji
;
Tang, Feng
;
Wang, Xiangzhao
;
Feng, Peng
;
Guo, Fudong
;
Peng, Changzhe
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提交时间:2019/09/17
Interferometry
CCD cameras
Diffraction
Imaging systems
Measurement
Uncertainty analysis
成像系统倍率高精度测量技术研究
期刊论文
光学学报, 2018, 期号: 07, 页码: 167-176
作者:
董冠极
;
唐锋
;
王向朝
;
冯鹏
;
郭福东
;
彭常哲
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提交时间:2019/09/17
测量
倍率
Zernike多项式
点衍射干涉法