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Tolerance assurance of interferometer for optical HCB process 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2018, 卷号: 26, 期号: 8, 页码: 1945-1953
作者:  Yao, Dong;  Li, Yu-Peng;  Zhao, Ya;  Wang, Zhi;  Sha, Wei;  Wang, Yong-Xian
浏览  |  Adobe PDF(637Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：276/105  |  提交时间：2019/09/17
Interferometers  Catalysis  Degrees of freedom (mechanics)  Fillers  Gravity waves  Laser interferometry  Position control  
扫描干涉场曝光系统中光束对准误差及其控制 期刊论文
光学学报, 2017, 页码: 247-256
作者:  王玮;  巴音贺希格;  潘明忠;  宋莹;  李文昊
caj(798Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：313/100  |  提交时间：2018/04/09
光学设计  光栅  扫描干涉场曝光  光束对准  曝光对比度  位置解耦  角度解耦  
Beam Alignment Error and Its Control in Scanning Beam Interference Lithography System 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2017, 卷号: 37, 期号: 7
作者:  Wang, W.;  Bayanheshig;  M. Pan;  Y. Song and W. Li
浏览  |  Adobe PDF(993Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：273/80  |  提交时间：2018/06/13
扫描干涉场曝光光束自动对准及其收敛性分析 期刊论文
中国激光, 2016, 期号: 12, 页码: 176-183
作者:  王玮;  巴音贺希格;  宋莹;  姜珊;  潘明忠
caj(1764Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：268/96  |  提交时间：2017/09/17
光栅  扫描干涉场曝光系统  光束对准  收敛性能  装调误差  
Beam alignment and convergence analysis of scanning beam interference lithography systems 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2016, 卷号: 43, 期号: 12
作者:  Wang, W.;  Bayanheshig;  Y. Song;  S. Jiang and M. Pan
浏览  |  Adobe PDF(1920Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：400/73  |  提交时间：2017/09/11
光纤点衍射干涉仪波面参考源研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  代晓珂
Adobe PDF(2717Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：240/2  |  提交时间：2015/05/03
光学检测  极紫外光刻  波面参考源  偏振控制  
全息光栅曝光系统干涉条纹静态及动态相位锁定技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  宋莹
Adobe PDF(5623Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：469/2  |  提交时间：2015/05/03
全息光栅曝光  扫描干涉场曝光  干涉条纹  移频式  静态相位锁定  动态相位锁定  Aom  
PZT驱动快速控制反射镜的设计与试验 期刊论文
机电工程, 2013, 期号: 07, 页码: 783-787
作者:  张丽敏;  王帅;  杨飞;  乔兵
caj(220Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：337/108  |  提交时间：2014/03/07
望远镜  压电陶瓷  快速控制反射镜  Rayleigh能量法  
多光谱多光轴设备光轴平行性测量装置研制 期刊论文
光机电信息, 2011, 卷号: 28, 期号: 12
作者:  叶露
Adobe PDF(483Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：760/282  |  提交时间：2012/05/11