×
验证码:
换一张
忘记密码?
记住我
×
登录
中文版
|
English
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
登录
注册
ALL
ORCID
题名
作者
学科领域
关键词
资助项目
文献类型
出处
收录类别
出版者
发表日期
存缴日期
学科门类
学习讨论厅
图片搜索
粘贴图片网址
首页
研究单元&专题
作者
文献类型
学科分类
知识图谱
新闻&公告
在结果中检索
研究单元&专题
中科院长春光机所知... [17]
作者
赵磊 [1]
郭劲 [1]
邵帅 [1]
乔健 [1]
邵俊峰 [1]
刘立生 [1]
更多...
文献类型
期刊论文 [20]
学位论文 [1]
发表日期
2022 [1]
2020 [2]
2019 [1]
2018 [1]
2017 [3]
2016 [6]
更多...
语种
中文 [14]
出处
光学学报 [4]
Guangxue X... [2]
激光与光电子学进展 [2]
Acta Physi... [1]
Chinese Op... [1]
Guangxue J... [1]
更多...
资助项目
收录类别
EI [7]
CNKI [1]
SCI [1]
资助机构
×
知识图谱
CIOMP OpenIR
开始提交
已提交作品
待认领作品
已认领作品
未提交全文
收藏管理
QQ客服
官方微博
反馈留言
浏览/检索结果:
共21条,第1-10条
帮助
已选(
0
)
清除
条数/页:
5
10
15
20
25
30
35
40
45
50
55
60
65
70
75
80
85
90
95
100
排序方式:
请选择
提交时间升序
提交时间降序
发表日期升序
发表日期降序
WOS被引频次升序
WOS被引频次降序
期刊影响因子升序
期刊影响因子降序
题名升序
题名降序
作者升序
作者降序
空间相机全铝合金光机结构的设计与分析
期刊论文
红外技术, 2022, 卷号: 44, 期号: 04, 页码: 364-370
作者:
王上
;
张星祥
;
朱俊青
浏览
  |  
Adobe PDF(1101Kb)
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:107/50
  |  
提交时间:2023/05/18
激光空间合束主镜优化设计与分析
期刊论文
中国光学, 2020, 卷号: 13, 期号: 03, 页码: 442-450
作者:
汤伟
;
刘立生
;
刘扬
;
邵俊峰
;
郭劲
浏览
  |  
Adobe PDF(2898Kb)
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:148/49
  |  
提交时间:2021/07/06
大功率激光
空间合束
主镜
激光热畸变
轻量化设计
Optimization and analysis of a primary mirror for a laser incoherent combining system
期刊论文
Chinese Optics, 2020, 卷号: 13, 期号: 3, 页码: 442-450
作者:
W. Tang,L.-S. Liu,Y. Liu,J.-F. Shao and J. Guo
浏览
  |  
Adobe PDF(2683Kb)
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:92/36
  |  
提交时间:2021/07/06
投影光刻物镜像质补偿策略与补偿技术研究
学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:
赵磊
caj(8435Kb)
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:157/0
  |  
提交时间:2020/08/24
投影光刻物镜
像质补偿技术
柔顺微动机构
主动变形镜
Simulation analysis of the temperature field of the light guide mirror on mirror surface
期刊论文
Hongwai yu Jiguang Gongcheng/Infrared and Laser Engineering, 2018, 卷号: 47, 期号: 11
作者:
Meng, Lingwu
;
Shao, Shuai
;
Qiao, Jian
浏览
  |  
Adobe PDF(1400Kb)
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:298/118
  |  
提交时间:2019/09/17
Laser mirrors
Computational fluid dynamics
Coolants
Finite volume method
Heat transfer
High power lasers
Irradiation
Statistics
Temperature
Temperature distribution
193nm投影光刻物镜光机系统关键技术研究进展
期刊论文
中国科学:技术科学, 2017, 页码: 565-581
作者:
张德福
;
李显凌
;
芮大为
;
李朋志
;
东立剑
;
张建国
caj(2036Kb)
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:523/127
  |  
提交时间:2018/04/09
集成电路
光刻
投影物镜
波像差
调节机构
主动光学
光刻物镜热像差主动补偿系统设计与实验
期刊论文
光学学报, 2017, 页码: 302-310
作者:
东立剑
;
崔庆龙
;
李朋志
;
赵磊
caj(3959Kb)
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:330/87
  |  
提交时间:2018/04/09
光学设计
光刻物镜
热像差
主动光学
像散
响应函数
Design and experiment of active compensation system for thermal aberration of lithographic lens
期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2017, 卷号: 37, 期号: 3
作者:
Dong, L.
;
Q. Cui
;
P. Li and L. Zhao
Adobe PDF(4130Kb)
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:337/108
  |  
提交时间:2018/06/13
深紫外光刻投影物镜温度特性研究
期刊论文
中国激光, 2016, 期号: 5, 页码: 276-285
作者:
姚长呈
;
巩岩
caj(1486Kb)
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:326/127
  |  
提交时间:2017/09/17
光学制造
光刻投影物镜
温度分布模型
仿真分析
热像差
光刻物镜中主动透镜的变形和像差特性
期刊论文
光学学报, 2016, 期号: 4, 页码: 261-268
作者:
姚长呈
;
巩岩
caj(1449Kb)
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:255/121
  |  
提交时间:2017/09/17
光学设计
主动光学
光刻物镜
热像差补偿
像散