中文版 | English

在结果中检索

CIOMP OpenIR

浏览/检索结果: 共21条，第1-10条 帮助

已选(0)清除 条数/页：   排序方式：
空间相机全铝合金光机结构的设计与分析 期刊论文
红外技术, 2022, 卷号: 44, 期号: 04, 页码: 364-370
作者:  王上;  张星祥;  朱俊青
浏览  |  Adobe PDF(1101Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：107/50  |  提交时间：2023/05/18
激光空间合束主镜优化设计与分析 期刊论文
中国光学, 2020, 卷号: 13, 期号: 03, 页码: 442-450
作者:  汤伟;  刘立生;  刘扬;  邵俊峰;  郭劲
浏览  |  Adobe PDF(2898Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：148/49  |  提交时间：2021/07/06
大功率激光  空间合束  主镜  激光热畸变  轻量化设计  
Optimization and analysis of a primary mirror for a laser incoherent combining system 期刊论文
Chinese Optics, 2020, 卷号: 13, 期号: 3, 页码: 442-450
作者:  W. Tang,L.-S. Liu,Y. Liu,J.-F. Shao and J. Guo
浏览  |  Adobe PDF(2683Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：92/36  |  提交时间：2021/07/06
投影光刻物镜像质补偿策略与补偿技术研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:  赵磊
caj(8435Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：157/0  |  提交时间：2020/08/24
投影光刻物镜  像质补偿技术  柔顺微动机构  主动变形镜  
Simulation analysis of the temperature field of the light guide mirror on mirror surface 期刊论文
Hongwai yu Jiguang Gongcheng/Infrared and Laser Engineering, 2018, 卷号: 47, 期号: 11
作者:  Meng, Lingwu;  Shao, Shuai;  Qiao, Jian
浏览  |  Adobe PDF(1400Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：298/118  |  提交时间：2019/09/17
Laser mirrors  Computational fluid dynamics  Coolants  Finite volume method  Heat transfer  High power lasers  Irradiation  Statistics  Temperature  Temperature distribution  
193nm投影光刻物镜光机系统关键技术研究进展 期刊论文
中国科学:技术科学, 2017, 页码: 565-581
作者:  张德福;  李显凌;  芮大为;  李朋志;  东立剑;  张建国
caj(2036Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：523/127  |  提交时间：2018/04/09
集成电路  光刻  投影物镜  波像差  调节机构  主动光学  
光刻物镜热像差主动补偿系统设计与实验 期刊论文
光学学报, 2017, 页码: 302-310
作者:  东立剑;  崔庆龙;  李朋志;  赵磊
caj(3959Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：330/87  |  提交时间：2018/04/09
光学设计  光刻物镜  热像差  主动光学  像散  响应函数  
Design and experiment of active compensation system for thermal aberration of lithographic lens 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2017, 卷号: 37, 期号: 3
作者:  Dong, L.;  Q. Cui;  P. Li and L. Zhao
Adobe PDF(4130Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：337/108  |  提交时间：2018/06/13
深紫外光刻投影物镜温度特性研究 期刊论文
中国激光, 2016, 期号: 5, 页码: 276-285
作者:  姚长呈;  巩岩
caj(1486Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：326/127  |  提交时间：2017/09/17
光学制造  光刻投影物镜  温度分布模型  仿真分析  热像差  
光刻物镜中主动透镜的变形和像差特性 期刊论文
光学学报, 2016, 期号: 4, 页码: 261-268
作者:  姚长呈;  巩岩
caj(1449Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：255/121  |  提交时间：2017/09/17
光学设计  主动光学  光刻物镜  热像差补偿  像散