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深紫外光刻投影物镜温度特性研究 期刊论文
中国激光, 2016, 期号: 5, 页码: 276-285
作者:  姚长呈;  巩岩
caj(1486Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：328/127  |  提交时间：2017/09/17
光学制造  光刻投影物镜  温度分布模型  仿真分析  热像差  
径向预紧力对反射镜重力变形的补偿作用 期刊论文
光学学报, 2016, 期号: 4, 页码: 276-283
作者:  贾树强;  黄玮;  徐象如;  姚长呈
caj(1656Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：287/102  |  提交时间：2017/09/17
光学器件  表面变形  面形补偿  预紧力  有限元方法  
光刻物镜中主动透镜的变形和像差特性 期刊论文
光学学报, 2016, 期号: 4, 页码: 261-268
作者:  姚长呈;  巩岩
caj(1449Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：259/124  |  提交时间：2017/09/17
光学设计  主动光学  光刻物镜  热像差补偿  像散  
长程轮廓仪菲涅耳双棱镜对分束结构 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 1, 页码: 207-212
作者:  廖家胜;  巩岩;  张巍;  李晶;  李春才;  姚长呈;  闵林
caj(310Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：290/114  |  提交时间：2015/04/17
测量  长程轮廓仪  分束结构  菲涅耳双棱镜