Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 光刻物镜热像差主动补偿系统设计与实验 | |
东立剑 ; 崔庆龙; 李朋志; 赵磊
| |
| 2017-03-10 | |
| 发表期刊 | 光学学报
 |
| 页码 | 302-310 |
| 摘要 | 光刻物镜硅片刻蚀过程中的Z5像散会使光刻物镜波像差产生严重的劣化。为了对像散进行实时补偿,提出一种Z5像散主动补偿系统。该系统由实时数据平台、驱动力系统、柔性支撑结构和光学透镜构成。采用球面干涉仪作为光学透镜表面面形的检测设备,利用最小二乘法及线性叠加原理确定驱动参数与面形关系。实验进行了主动补偿系统的驱动器响应函数测试、补偿行程测试、补偿精度测试、补偿分辨率测试。结果表明,系统Z5像散补偿行程达到735nm,Z5像散补偿精度小于2nm,引入的高阶像差小于1nm,像散补偿分辨率为2nm,该系统能够有效补偿光刻物镜系统波前像差,使光刻物镜满足像质要求。 |
| 关键词 | 光学设计 光刻物镜 热像差 主动光学 像散 响应函数 |
| DOI | B349D0B392E3D961C247C7F08A3E4D51 |
| 语种 | 中文 |
| 引用统计 | |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/58430 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 东立剑,崔庆龙,李朋志,等. 光刻物镜热像差主动补偿系统设计与实验[J]. 光学学报,2017:302-310. |
| APA | 东立剑,崔庆龙,李朋志,&赵磊.(2017).光刻物镜热像差主动补偿系统设计与实验.光学学报,302-310. |
| MLA | 东立剑,et al."光刻物镜热像差主动补偿系统设计与实验".光学学报 (2017):302-310. |
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| 光刻物镜热像差主动补偿系统设计与实验.c（3959KB） | 期刊论文 | 作者接受稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |
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