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| 移栅型全息光栅曝光干涉条纹锁定 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 233-240
作者: 宋莹; 赵旭龙; 姜岩秀; 巴音贺希格; 齐向东
 caj(373Kb) |  收藏 | 浏览/下载：400/118 | 提交时间：2018/04/09
全息 全息光栅 干涉条纹锁定 分束光栅 叠栅条纹 |
| 扫描干涉场曝光系统光斑尺寸与光路设计 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 166-175
作者: 王玮; 姜珊; 宋莹; 巴音贺希格
caj(4189Kb) | 收藏 | 浏览/下载：370/134 | 提交时间：2018/04/09
光栅 扫描干涉场曝光系统 高斯光束 光斑尺寸 光路设计 |
| 扫描干涉场曝光系统中光束对准误差及其控制 期刊论文
光学学报, 2017, 页码: 247-256
作者: 王玮; 巴音贺希格; 潘明忠; 宋莹; 李文昊
 caj(798Kb) | 收藏 | 浏览/下载：313/100 | 提交时间：2018/04/09
光学设计 光栅 扫描干涉场曝光 光束对准 曝光对比度 位置解耦 角度解耦 |
| Interference Fringe Locking by Grating-Shifting Holographic Grating Exposure 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 5
作者: Song, Y.; X. Zhao; Y. Jiang; Bayanheshig and X. Qi
Adobe PDF(528Kb) | 收藏 | 浏览/下载：299/91 | 提交时间：2018/06/13 |
| Beam Alignment Error and Its Control in Scanning Beam Interference Lithography System 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2017, 卷号: 37, 期号: 7
作者: Wang, W.; Bayanheshig; M. Pan; Y. Song and W. Li
Adobe PDF(993Kb) | 收藏 | 浏览/下载：273/80 | 提交时间：2018/06/13 |
| Design of Spot Size and Optical Path in Scanning Beam Interference Lithography System 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 9
作者: Wang, W.; S. Jiang; Y. Song and Bayanheshig
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| 干涉条纹相位变化对平面全息光栅曝光的影响 期刊论文
激光技术, 2016, 期号: 3, 页码: 339-343
作者: 宋莹
caj(261Kb) | 收藏 | 浏览/下载：244/63 | 提交时间：2017/09/17
光栅 光栅曝光 数值计算 条纹相位变化 曝光对比度 掩模槽形 |
| 全息光栅曝光系统干涉条纹静态及动态相位锁定技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 宋莹
Adobe PDF(5623Kb) | 收藏 | 浏览/下载：470/2 | 提交时间：2015/05/03
全息光栅曝光 扫描干涉场曝光 干涉条纹 移频式 静态相位锁定 动态相位锁定 Aom |
| 扫描干涉场曝光系统中周期设定对曝光刻线相位的影响 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 9, 页码: 55-62
作者: 姜珊; 巴音贺希格; 李文昊; 宋莹; 潘明忠
caj(447Kb) | 收藏 | 浏览/下载：324/92 | 提交时间：2015/04/17
光栅 扫描干涉场曝光系统 相位锁定 光栅周期 刻线误差 |
