Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 扫描干涉场曝光系统中光束对准误差及其控制 | |
| 王玮; 巴音贺希格; 潘明忠; 宋莹; 李文昊 | |
| 2017 | |
| 发表期刊 | 光学学报
 |
| 页码 | 247-256 |
| 摘要 | 为了提升扫描干涉场曝光光束对准精度,保证制作的光栅掩模槽形的质量,建立了曝光光束对准误差模型,利用模型对光束对准误差进行了分析。同时为了满足系统对光束重叠精度的要求,设计研制了光束自动对准系统,并对曝光光束进行了对准实验。分析结果表明,当光束存在较大对准误差时,光栅基底表面曝光对比度大幅下降,而且由于采用步进扫描的曝光方式,光刻胶表面出现了各处曝光不均匀的现象,影响光栅掩模槽形的质量。设计的对准系统可以对光束角度与位置进行对准调节,系统整体表现出良好的收敛性能,多步调节后可使光束位置对准精度优于10μm,光束角度对准精度优于9μrad。这样的曝光光束对准精度可以满足系统要求,达到了预期的设计目的。 |
| 关键词 | 光学设计 光栅 扫描干涉场曝光 光束对准 曝光对比度 位置解耦 角度解耦 |
| DOI | A0167B2825CAC66762C75FE1077F7F35 |
| 语种 | 中文 |
| 引用统计 | |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/58495 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王玮,巴音贺希格,潘明忠,等. 扫描干涉场曝光系统中光束对准误差及其控制[J]. 光学学报,2017:247-256. |
| APA | 王玮,巴音贺希格,潘明忠,宋莹,&李文昊.(2017).扫描干涉场曝光系统中光束对准误差及其控制.光学学报,247-256. |
| MLA | 王玮,et al."扫描干涉场曝光系统中光束对准误差及其控制".光学学报 (2017):247-256. |
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| 扫描干涉场曝光系统中光束对准误差及其控制（798KB） | 期刊论文 | 作者接受稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |
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