Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 成像系统倍率高精度测量技术研究 | |
| 董冠极; 唐锋; 王向朝; 冯鹏; 郭福东; 彭常哲 | |
| 2018 | |
| 发表期刊 | 光学学报
 |
| 期号 | 07页码:167-176 |
| 摘要 | 针对目前尚无高精度通用倍率测量方法与装置的问题,提出了基于双光纤点衍射干涉仪的成像系统倍率高精度测量方法。通过分析双点光源间距、CCD相机空间位置与点衍射干涉场相位Zernike多项式系数之间的定量关系,得到物面光纤间距和像面光纤像点间距的纳米级精度测量值,进而完成对倍率的高精度测量。分别进行仿真分析和实验验证,证明了所提测量方法的可行性和稳定性。结果表明,倍率测量的扩展不确定度为2.64×10-6。所提出的成像系统倍率高精度测量方法具有测量精度高和测量效率高的特点,且具备高可靠性,可以用于显微物镜、光刻投影物镜等高精度成像系统倍率的超高精度测量。 |
| 关键词 | 测量 倍率 Zernike多项式 点衍射干涉法 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/61256 |
| 专题 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 董冠极,唐锋,王向朝,等. 成像系统倍率高精度测量技术研究[J]. 光学学报,2018(07):167-176. |
| APA | 董冠极,唐锋,王向朝,冯鹏,郭福东,&彭常哲.(2018).成像系统倍率高精度测量技术研究.光学学报(07),167-176. |
| MLA | 董冠极,et al."成像系统倍率高精度测量技术研究".光学学报 .07(2018):167-176. |
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