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投影光刻物镜像质补偿策略与补偿技术研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:  赵磊
caj(8435Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：161/0  |  提交时间：2020/08/24
投影光刻物镜  像质补偿技术  柔顺微动机构  主动变形镜  
Active lens for thermal aberration compensation in lithography lens 期刊论文
Applied Optics, 2018, 卷号: 57, 期号: 29, 页码: 8654-8663
作者:  Zhao, L.;  Dong, L. J.;  Yu, X. F.;  Li, P. Z.;  Qiao, Y. F.
浏览  |  Adobe PDF(2985Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：301/102  |  提交时间：2019/09/17
adaptive optics  deformable mirror  performance  simulation  systems  design  Optics  
光刻物镜热像差主动补偿系统设计与实验 期刊论文
光学学报, 2017, 页码: 302-310
作者:  东立剑;  崔庆龙;  李朋志;  赵磊
caj(3959Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：332/88  |  提交时间：2018/04/09
光学设计  光刻物镜  热像差  主动光学  像散  响应函数  
基于3-RRR结构的光学元件柔顺微动调整机构的位姿正解 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 6, 页码: 1373-1381
作者:  赵磊;  梁超;  张德福;  东立剑;  彭海峰
caj(585Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：364/103  |  提交时间：2017/09/17
柔顺并联机构  光学元件微动调整  位姿正解  伪刚体模型  矢量代数法  雅克比矩阵  
具有整体径向挠性的光学元件多点均匀支撑结构 期刊论文
光电工程, 2015, 期号: 10, 页码: 43-48
作者:  赵磊;  彭海峰;  于新峰;  东立剑
caj(657Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：309/76  |  提交时间：2016/07/06
光刻投影物镜  透镜支撑结构  自重变形  热变形  
光刻物镜主动变形镜像差补偿分析 期刊论文
激光与光电子学进展, 2015, 期号: 07, 页码: 238-244
作者:  东立剑;  赵磊;  张德福;  于新峰;  倪明阳;  李显凌
caj(1604Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：289/71  |  提交时间：2016/07/06
成像系统  主动光学  像散补偿  有限元分析  
光学元件Z、tip、tilt三自由度微动调整装置 专利
专利类型: 发明, 专利号: 201210206727.6, 申请日期: 2014-08-20, 公开日期: 2014-08-20
发明人:  赵磊;  巩岩;  倪明阳;  孙振
浏览  |  Adobe PDF(1336Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：397/108  |  提交时间：2015/02/10
利用失调量向量选择投影物镜小比例模型系统补偿量 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 8, 页码: 228-233
作者:  赵阳;  王平;  赵磊;  刘春来;  华洋洋;  门树东
caj(356Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：327/102  |  提交时间：2015/04/17
几何光学  复杂系统装调  补偿量选择  奇异值分解  失调量向量  补偿量相关性  
基于FPGA的液晶显示屏测试用标准白场装置 期刊论文
液晶与显示, 2014, 期号: 1, 页码: 94-100
作者:  赵磊;  王学亮;  巩岩
caj(739Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：325/102  |  提交时间：2015/04/17
标准白场  Fpga  液晶显示屏  
基于柔度矩阵法的整体式XY光学微调整机构研究 期刊论文
仪器仪表学报, 2014, 期号: 2, 页码: 269-275
作者:  张德福;  赵磊
caj(660Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：275/64  |  提交时间：2015/04/17
光刻投影物镜  微调整机构  光机结构  波像差