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全频段亚纳米精度氟化钙材料加工 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 11, 页码: 2636-2643
作者:  张春雷;  徐乐;  刘健;  马占龙;  王飞;  谷永强;  代雷;  彭石军
caj(596Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：393/122  |  提交时间：2017/09/17
氟化钙  投影光刻物镜  精密光学加工  亚纳米精度加工  离子束修形(Ibf)  
分孔径实时偏振红外成像仪光学系统设计研究 期刊论文
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 2016, 期号: 6
作者:  王琪
收藏  |  浏览/下载：176/0  |  提交时间：2017/09/17
偏振成像  中波红外  分孔径  光学设计  
狭缝柔性结构的光学元件超精密调节机构研究 期刊论文
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 2016, 期号: 6
作者:  董世则
收藏  |  浏览/下载：235/0  |  提交时间：2017/09/17
狭缝柔性结构  光刻物镜  调节机构  导向精度  精度测试  
高精度六维激光测量系统误差补偿算法研究 期刊论文
电子测量与仪器学报, 2016, 期号: 8, 页码: 1275-1281
作者:  尹志生;  李友如;  李佩玥;  郭抗;  李朋志
caj(904Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：318/138  |  提交时间：2017/09/17
双频激光干涉仪  六自由度位姿检测  误差补偿  齐次变换  
基于3-RRR结构的光学元件柔顺微动调整机构的位姿正解 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 6, 页码: 1373-1381
作者:  赵磊;  梁超;  张德福;  东立剑;  彭海峰
caj(585Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：377/105  |  提交时间：2017/09/17
柔顺并联机构  光学元件微动调整  位姿正解  伪刚体模型  矢量代数法  雅克比矩阵  
深紫外光刻投影物镜温度特性研究 期刊论文
中国激光, 2016, 期号: 5, 页码: 276-285
作者:  姚长呈;  巩岩
caj(1486Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：349/134  |  提交时间：2017/09/17
光学制造  光刻投影物镜  温度分布模型  仿真分析  热像差  
轻小型立体相机光学系统研制 期刊论文
红外与激光工程, 2016, 期号: 4, 页码: 182-189
作者:  孟庆宇;  董吉洪;  王栋;  赵伟国
caj(523Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：238/94  |  提交时间：2017/09/17
光学设计  立体成像  光学遥感  定心装调  
径向预紧力对反射镜重力变形的补偿作用 期刊论文
光学学报, 2016, 期号: 4, 页码: 276-283
作者:  贾树强;  黄玮;  徐象如;  姚长呈
caj(1656Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：313/113  |  提交时间：2017/09/17
光学器件  表面变形  面形补偿  预紧力  有限元方法  
光刻物镜中主动透镜的变形和像差特性 期刊论文
光学学报, 2016, 期号: 4, 页码: 261-268
作者:  姚长呈;  巩岩
caj(1449Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：269/132  |  提交时间：2017/09/17
光学设计  主动光学  光刻物镜  热像差补偿  像散  
疵病检测中适用于不同倍率物镜的波前编码板优化设计 期刊论文
光电子·激光, 2016, 期号: 3, 页码: 291-297
作者:  刘江;  苗二龙;  于长淞;  隋永新;  杨怀江
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波前编码(Wfc)  显微物镜  景深  分辨率  光学检测