Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 疵病检测中适用于不同倍率物镜的波前编码板优化设计 | |
刘江; 苗二龙 ; 于长淞; 隋永新; 杨怀江
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| 2016-03-15 | |
| 发表期刊 | 光电子·激光
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| 期号 | 3页码:291-297 |
| 摘要 | 为了更有效地对光刻投影物镜进行疵病显微检测,通过对波前编码(WFC)板上光线入射角度及其系数之间变化关系的分析,设计和优化了一个可以同时适用于5X、10X和20X显微物镜的WFC板。设计结果表明,加入优化设计的WFC板后,分别对5X、10X和20X显微物镜延拓了3到10倍的景深;同时,光学系统的调制传递函数(MTF)在空间截止频率附近都能保持较好的数值,保证了其应有的分辨率。通过成像仿真实验,对比了加入WFC板前后的不同倍率显微物镜的离焦成像能力。结果表明,所设计的WFC板对不同倍率的显微物镜都有良好的景深延拓能力,在疵病显微检测中具有良好的适应性和有效性。 |
| 关键词 | 波前编码(Wfc) 显微物镜 景深 分辨率 光学检测 |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/58047 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘江,苗二龙,于长淞,等. 疵病检测中适用于不同倍率物镜的波前编码板优化设计[J]. 光电子·激光,2016(3):291-297. |
| APA | 刘江,苗二龙,于长淞,隋永新,&杨怀江.(2016).疵病检测中适用于不同倍率物镜的波前编码板优化设计.光电子·激光(3),291-297. |
| MLA | 刘江,et al."疵病检测中适用于不同倍率物镜的波前编码板优化设计".光电子·激光 .3(2016):291-297. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 疵病检测中适用于不同倍率物镜的波前编码板（2380KB） | 期刊论文 | 作者接受稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |
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