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1.8 m空间长条反射镜柔性支撑技术研究 期刊论文
中国光学(中英文), 2022, 卷号: 15, 期号: 05, 页码: 1079-1091
作者:  李宗轩;  张昌昊;  张德福;  马斌;  李云峰
浏览  |  Adobe PDF(3019Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：109/48  |  提交时间：2023/05/18
金属橡胶减振器在同轴两反空间相机中的应用 期刊论文
光学精密工程, 2021, 卷号: 29, 期号: 03, 页码: 524-535
作者:  宋文轩;  李宗轩;  谢晓光;  吴昊;  张德福
浏览  |  Adobe PDF(1884Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：164/37  |  提交时间：2022/06/29
交叉簧片柔性铰链设计 期刊论文
中国机械工程, 2021, 页码: 8
作者:  吴昊;  李宗轩;  张德福;  李清雅;  李云峰
浏览  |  Adobe PDF(1369Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：145/57  |  提交时间：2022/06/29
光学元件狭缝柔性调节机构的设计与分析 期刊论文
中国光学, 2017, 页码: 790-797
作者:  董世则;  郭抗;  李显凌;  陈华男;  张德福
caj(1307Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：378/118  |  提交时间：2018/04/09
光刻物镜  调节机构  狭缝柔性结构  刚度比  导向精度  
193nm投影光刻物镜光机系统关键技术研究进展 期刊论文
中国科学:技术科学, 2017, 页码: 565-581
作者:  张德福;  李显凌;  芮大为;  李朋志;  东立剑;  张建国
caj(2036Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：528/128  |  提交时间：2018/04/09
集成电路  光刻  投影物镜  波像差  调节机构  主动光学  
基于微PCD刀具的微结构成型制造与应用 期刊论文
纳米技术与精密工程, 2016, 期号: 4, 页码: 304-309
作者:  陈颖;  张建国;  张德福
caj(409Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：309/98  |  提交时间：2017/09/17
微结构  微pcd刀具  电火花线切割加工  微车削  
基于3-RRR结构的光学元件柔顺微动调整机构的位姿正解 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 6, 页码: 1373-1381
作者:  赵磊;  梁超;  张德福;  东立剑;  彭海峰
caj(585Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：364/103  |  提交时间：2017/09/17
柔顺并联机构  光学元件微动调整  位姿正解  伪刚体模型  矢量代数法  雅克比矩阵  
面向电容式传感器线性度标定的柔性微动机构设计 期刊论文
仪器仪表学报, 2016, 期号: 6, 页码: 1210-1217
作者:  张德福;  李显凌;  葛川;  倪明阳;  郭抗
caj(4315Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：270/90  |  提交时间：2017/09/17
柔性机构  伪刚体模型  传感器  线性度  标定  
电容传感器线性度标定平台 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 1, 页码: 143-151
作者:  张德福;  葛川;  李显凌;  倪明阳;  郭抗
caj(1959Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：287/90  |  提交时间：2017/09/17
电容传感器  线性度标定  标定平台  柔度矩阵  
电容式位移传感器的线性度标定与不确定度评定 期刊论文
光学精密工程, 2015, 期号: 09, 页码: 2546-2552
作者:  葛川;  张德福;  李朋志;  郭抗;  李佩玥;  杨怀江
caj(532Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：293/93  |  提交时间：2016/07/06
电容传感器  位移传感器  标定  线性度  不确定度  光刻投影物镜