基于3-RRR结构的光学元件柔顺微动调整机构的位姿正解

	基于3-RRR结构的光学元件柔顺微动调整机构的位姿正解
	赵磊; 梁超; 张德福; 东立剑; 彭海峰
	2016-06-15
发表期刊	光学精密工程
期号	6 页码:1373-1381
摘要	针对光刻投影物镜中光学元件X/Y/θ微动调整的工程需求,研制了一种基于3-RRR结构的光学元件柔顺微动调整机构,并对其位姿正解进行了研究。建立了3-RRR柔顺并联机构的伪刚体模型,并采用矢量代数法理论推导了该机构的位姿正解,得到了它的理论雅克比矩阵。然后,在NASTRAN中建立了3-RRR柔顺并联机构的有限元模型,得到了仿真环境下该机构的位姿正解和雅克比矩阵。最后,对研制的3-RRR柔顺并联机构进行了实验研究,得到了该机构真实的位姿正解和雅克比矩阵。实验结果表明,实验雅克比矩阵的各项系数分别为0.577 7、-0.304 0、-0.283 3、0.002 1、0.524 6、-0.516 5、1.402 6、1.481 9、1.435 3,而理论雅克比矩阵相对应的各项系数分别为0.612 9、-0.3065、-0.306 5、0、0.530 8、-0.530 8、1.444 6、1.444 6、1.444 6,得到的数据表明:采用矢量代数法能够理论推导出该机构正确的位姿正解公式。提出的3-RRR柔顺微动调整机构位姿正解方法为微动调整机构的研制提供了设计依据。
关键词	柔顺并联机构光学元件微动调整位姿正解伪刚体模型矢量代数法雅克比矩阵
语种	中文
文献类型	期刊论文
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/57550
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	赵磊,梁超,张德福,等. 基于3-RRR结构的光学元件柔顺微动调整机构的位姿正解[J]. 光学精密工程,2016(6):1373-1381.
APA	赵磊,梁超,张德福,东立剑,&彭海峰.(2016).基于3-RRR结构的光学元件柔顺微动调整机构的位姿正解.光学精密工程(6),1373-1381.
MLA	赵磊,et al."基于3-RRR结构的光学元件柔顺微动调整机构的位姿正解".光学精密工程 .6(2016):1373-1381.

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基于3-RRR结构的光学元件柔顺微动调整（585KB）	期刊论文	作者接受稿	开放获取	CC BY-NC-SA	浏览下载