中国科学院长春光学精密机械与物理研究所(CIOMP OpenIR): 检索

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	光学元件狭缝柔性调节机构的设计与分析期刊论文中国光学, 2017, 页码: 790-797 作者: 董世则; 郭抗; 李显凌; 陈华男; 张德福 caj(1307Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：378/118 \| 提交时间：2018/04/09 光刻物镜调节机构狭缝柔性结构刚度比导向精度
	狭缝柔性结构的光学元件超精密调节机构研究期刊论文中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 2016, 期号: 6 作者: 董世则收藏 \| 浏览/下载：213/0 \| 提交时间：2017/09/17 狭缝柔性结构光刻物镜调节机构导向精度精度测试

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