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基于粒子群算法离轴多反光学系统设计 期刊论文
中国光学, 2021, 卷号: 14, 期号: 06, 页码: 1435-1450
作者:  吴越;  王丽萍;  于杰;  张旭;  金春水
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Design of off-axis multi-reflective optical system based on particle swarm optimization 期刊论文
Chinese Optics, 2021, 卷号: 14, 期号: 6, 页码: 1435-1450
作者:  Y. Wu;  L.-P. Wang;  J. Yu;  X. Zhang and C.-S. Jin
Adobe PDF(2477Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：95/40  |  提交时间：2022/06/13
压电促动器的纳米级精度控制及其在光刻物镜中的应用研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:  李朋志
caj(10011Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：144/0  |  提交时间：2020/08/24
光刻物镜  压电促动器  迟滞  模糊  运动控制  像差补偿  
浸没式光刻投影物镜光学薄膜 期刊论文
中国光学, 2018, 期号: 05, 页码: 745-764
作者:  毕丹丹;  张立超;  时光
收藏  |  浏览/下载：188/0  |  提交时间：2019/09/17
浸没式光刻  光学薄膜  膜系设计  环境适应性  激光辐照寿命  
浸没式光刻投影物镜光学薄膜技术研究 学位论文
硕士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:  毕丹丹
caj(4243Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：204/0  |  提交时间：2019/09/23
光学薄膜  浸没式光刻  大角度保偏膜系  浸液环境寿命  激光辐照寿命  
Optical coatings for projection objective immersion lithography 期刊论文
Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 5, 页码: 745-764
作者:  Bi, Dan-Dan;  Zhang, Li-Chao;  Shi, Guang
Adobe PDF(2727Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：268/107  |  提交时间：2019/09/17
Optical films  Integrated circuit manufacture  Irradiation  Lithography  Optical coatings  Optical systems  
Study on High Precision Magnification Measurement of Imaging Systems 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2018, 卷号: 38, 期号: 7
作者:  Dong, Guanji;  Tang, Feng;  Wang, Xiangzhao;  Feng, Peng;  Guo, Fudong;  Peng, Changzhe
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Interferometry  CCD cameras  Diffraction  Imaging systems  Measurement  Uncertainty analysis  
Grating Lateral Shearing Interferometry for Suppressing Zero-Order Crosstalk 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2018, 卷号: 45, 期号: 5
作者:  Fang, Chao;  Xiang, Yang;  Qi, Keqi
浏览  |  Adobe PDF(403Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：257/98  |  提交时间：2019/09/17
Aberrations  Crosstalk  Interferometry  Measurement  Photolithography  Shearing  Wave interference  Wavefronts  
成像系统倍率高精度测量技术研究 期刊论文
光学学报, 2018, 期号: 07, 页码: 167-176
作者:  董冠极;  唐锋;  王向朝;  冯鹏;  郭福东;  彭常哲
收藏  |  浏览/下载：205/0  |  提交时间：2019/09/17
测量  倍率  Zernike多项式  点衍射干涉法  
Design and experiment of active compensation system for thermal aberration of lithographic lens 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2017, 卷号: 37, 期号: 3
作者:  Dong, L.;  Q. Cui;  P. Li and L. Zhao
Adobe PDF(4130Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：338/108  |  提交时间：2018/06/13