Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 光学元件Z、tip、tilt三自由度微动调整装置 | |
赵磊 ; 巩岩; 倪明阳; 孙振
| |
| 2014-08-20 | |
| 专利权人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 公开日期 | 2014-08-20 |
| 授权国家 | 中国 |
| 专利类型 | 发明 |
| 摘要 | 光学元件Z、tip、tilt三自由度微动调整装置，属于深紫外投影光刻物镜装调补偿领域，为解决光学元件Z、tip、tilt三自由度高精度调整问题，该装置包括镜框、镜筒、三个运动支链和三对双电容传感器；镜框和镜筒通过三个运动支链连接；每个运动支链均由第一柔性万向铰、驱动器和第二柔性万向铰组成，驱动器位于第一柔性万向铰的下面，第二柔性万向铰位于驱动器下面，三个运动支链沿周向间隔120°均匀分布；每对双电容传感器的上电极板和下电极板分别固定在镜框和镜筒上，且三对双电容传感器周向间隔120°均匀分布，本发明基于3-TPT机构，实现光学元件的Z、tip、tilt三自由度精密微动调整。 |
| 专利号 | 201210206727.6 |
| 语种 | 中文 |
| 专利状态 | 公开 |
| 申请号 | 201210206727.6 |
| PCT属性 | 是 |
| 专利代理人 | 南小平 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/42090 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵磊,巩岩,倪明阳,等. 光学元件Z、tip、tilt三自由度微动调整装置. 201210206727.6[P]. 2014-08-20. |
| 条目包含的文件 | 下载所有文件 | |||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| CN201210206727-光学元件Z（1336KB） | 开放获取 | CC BY-NC-ND | 浏览 下载 | |||
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