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| 投影光刻物镜像质补偿策略与补偿技术研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者: 赵磊
 caj(8435Kb) |  收藏 | 浏览/下载：164/0 | 提交时间：2020/08/24
投影光刻物镜 像质补偿技术 柔顺微动机构 主动变形镜 |
| Design and experiment of active compensation system for thermal aberration of lithographic lens 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2017, 卷号: 37, 期号: 3
作者: Dong, L.; Q. Cui; P. Li and L. Zhao
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| Design of support structure for deformable mirror used on space camera 期刊论文
Hongwai yu Jiguang Gongcheng/Infrared and Laser Engineering, 2016, 卷号: 45, 期号: 7
作者: Yuan, J.; W. Sha and J. Ren
浏览 | Adobe PDF(455Kb) | 收藏 | 浏览/下载：328/94 | 提交时间：2017/09/11 |
| Research on deformation and aberration of active plate used in lithographic objective 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2016, 卷号: 36, 期号: 4
作者: Yao, C. and Y. Gong
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| 大型空间相机出瞳镜精密调整结构设计与分析 学位论文
: 中国科学院大学, 2015
作者: 袁健
Adobe PDF(3610Kb) | 收藏 | 浏览/下载：325/3 | 提交时间：2016/04/11
空间相机 出瞳调整结构 变形镜 重力变形 热变形 柔性结
构 空间环境适应性 像差校正能力 |
| 光刻物镜主动变形镜像差补偿分析 期刊论文
激光与光电子学进展, 2015, 期号: 07, 页码: 238-244
作者: 东立剑; 赵磊; 张德福; 于新峰; 倪明阳; 李显凌
caj(1604Kb) | 收藏 | 浏览/下载：292/71 | 提交时间：2016/07/06
成像系统 主动光学 像散补偿 有限元分析 |
| 光学精密透镜的光力学耦合分析与优化设计 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 刘永明
Adobe PDF(2728Kb) | 收藏 | 浏览/下载：369/1 | 提交时间：2014/08/21 |
| 应用于TMA系统的智能光瞳技术(英文) 期刊论文
激光与光电子学进展, 2014, 期号: 5, 页码: 78-83
作者: 闫锋
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成像系统 智能光瞳 波前编码 变形镜 相位参差 |
| 基于随机并行梯度下降算法的激光束整形技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2013
作者: 刘磊
Adobe PDF(2786Kb) | 收藏 | 浏览/下载：353/2 | 提交时间：2014/03/15
随机并行梯度下降算法 激光束整形 变形镜 |
