Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 利用失调量向量选择投影物镜小比例模型系统补偿量 | |
赵阳; 王平 ; 赵磊; 刘春来; 华洋洋; 门树东
| |
| 2014-08-10 | |
| 发表期刊 | 光学学报
 |
| 期号 | 8页码:228-233 |
| 摘要 | 光刻投影物镜小比例模型光学系统镜片数量较多,用每个补偿量去补偿对应失调量的传统装调方法对其不适用。利用灵敏度矩阵,并对其进行奇异值分解,对分解后的失调量向量的数值与符号进行分析,确定各失调量之间的相关性,提出了系统补偿量的选择方法,该方法仅需要分析少量向量即能选择补偿量的最佳组合。编写宏模块进行大量仿真计算,验证了补偿量敏感度与相关性分析的正确性。物镜系统初装完成后,对系统进行了仿真预装调,以确保补偿方案的可行性。实验结果表明,补偿后系统波像差均方根(RMS)值由70nm降低到29.6nm,优于技术指标要求,证明了提出的补偿量选择方法的正确性和有效性。 |
| 文章类型 | 期刊 |
| 关键词 | 几何光学 复杂系统装调 补偿量选择 奇异值分解 失调量向量 补偿量相关性 |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/42880 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵阳,王平,赵磊,等. 利用失调量向量选择投影物镜小比例模型系统补偿量[J]. 光学学报,2014(8):228-233. |
| APA | 赵阳,王平,赵磊,刘春来,华洋洋,&门树东.(2014).利用失调量向量选择投影物镜小比例模型系统补偿量.光学学报(8),228-233. |
| MLA | 赵阳,et al."利用失调量向量选择投影物镜小比例模型系统补偿量".光学学报 .8(2014):228-233. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 利用失调量向量选择投影物镜小比例模型系统（356KB） | 开放获取 | ODC PDDL | 浏览 下载 | |||
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