Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 基于柔度矩阵法的整体式XY光学微调整机构研究 | |
张德福 ; 赵磊
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| 2014-02-15 | |
| 发表期刊 | 仪器仪表学报
 |
| 期号 | 2页码:269-275 |
| 摘要 | 研究一种用于光刻投影物镜光学元件XY微调整的整体式柔性冗余并联机构。首先,给出了机构组成和工作原理。然后,根据圆弧形单轴柔性铰链参数介绍了柔度矩阵法。接着,基于该方法推导了机构各个调整臂支链的柔度、机构的输出柔度、输入柔度和位移输入输出比。最后,对机构进行了有限元分析、理论计算和实验验证。实验结果证明:和有限元法相比,理论计算得到的机构输出柔度、输入柔度、输入输出比偏差分别为16.272%、28.326%、31.126%。和测量实验结果相比,理论计算得到的输入输出比偏差为15.212%。偏差主要由柔度矩阵法中的柔度系数并非绝对精确,并且忽略了铰链之间连杆的柔度导致的。在±50 N的驱动力范围内,机构满足调整行程±50μm的要求,镜框上的最大应力小于材料的屈服极限,调节引入的Tip/Tilt耦合误差小于0.5″。该柔性XY调整机构满足光刻投影物镜光学元件偏心补偿要求。 |
| 文章类型 | 期刊 |
| 关键词 | 光刻投影物镜 微调整机构 光机结构 波像差 |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/42694 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张德福,赵磊. 基于柔度矩阵法的整体式XY光学微调整机构研究[J]. 仪器仪表学报,2014(2):269-275. |
| APA | 张德福,&赵磊.(2014).基于柔度矩阵法的整体式XY光学微调整机构研究.仪器仪表学报(2),269-275. |
| MLA | 张德福,et al."基于柔度矩阵法的整体式XY光学微调整机构研究".仪器仪表学报 .2(2014):269-275. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 基于柔度矩阵法的整体式XY光学微调整机构（660KB） | 开放获取 | ODC PDDL | 浏览 下载 | |||
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