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投影光刻物镜像质补偿策略与补偿技术研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:  赵磊
caj(8435Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：164/0  |  提交时间：2020/08/24
投影光刻物镜  像质补偿技术  柔顺微动机构  主动变形镜  
Study on sensitivity of surface deviation for aspheric mirror blank on centrifugal melting casting 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2018, 卷号: 26, 期号: 7, 页码: 1719-1727
作者:  Zhang, Xin-Ming;  Xu, Xin-Li;  Cai, Peng;  Yu, Yang;  Zhao, Li-Xin
浏览  |  Adobe PDF(4517Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：355/101  |  提交时间：2019/09/17
Mirrors  Aspherics  Centrifugal casting  Centrifugation  Compensation (personnel)  Melting  Molds  Processing  Shrinkage  Thermal expansion  
光刻物镜热像差主动补偿系统设计与实验 期刊论文
光学学报, 2017, 页码: 302-310
作者:  东立剑;  崔庆龙;  李朋志;  赵磊
caj(3959Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：332/88  |  提交时间：2018/04/09
光学设计  光刻物镜  热像差  主动光学  像散  响应函数  
Design and experiment of active compensation system for thermal aberration of lithographic lens 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2017, 卷号: 37, 期号: 3
作者:  Dong, L.;  Q. Cui;  P. Li and L. Zhao
浏览  |  Adobe PDF(4130Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：338/108  |  提交时间：2018/06/13
Design of off-plane Offner spectrometer with high spectral resolution 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2016, 卷号: 36, 期号: 2
作者:  Gao, Z.;  W. Fang;  B. Song;  M. Jiang and Y. Wang
浏览  |  Adobe PDF(1413Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：322/90  |  提交时间：2017/09/11
High signal-to-noise ratio sensing with Shack-Hartmann wavefront sensor based on auto gain control of electron multiplying CCD 期刊论文
Chinese Physics B, 2016, 卷号: 25, 期号: 9
作者:  Zhu, Z. Y.;  D. Y. Li;  L. F. Hu;  Q. Q. Mu;  C. L. Yang;  Z. L. Cao and L. Xuan
浏览  |  Adobe PDF(1413Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：286/86  |  提交时间：2017/09/11
光刻物镜主动变形镜像差补偿分析 期刊论文
激光与光电子学进展, 2015, 期号: 07, 页码: 238-244
作者:  东立剑;  赵磊;  张德福;  于新峰;  倪明阳;  李显凌
caj(1604Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：292/71  |  提交时间：2016/07/06
成像系统  主动光学  像散补偿  有限元分析  
视网膜液晶自适应波前补偿成像样机的研制 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2010
作者:  刘肇楠
Microsoft Word(16793Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：286/2  |  提交时间：2013/02/28