Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 光刻物镜主动变形镜像差补偿分析 | |
东立剑 ; 赵磊; 张德福; 于新峰; 倪明阳; 李显凌
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| 2015-07-10 | |
| 发表期刊 | 激光与光电子学进展
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| 期号 | 07页码:238-244 |
| 摘要 | 为补偿光刻物镜由不均匀照明引入的Z5像散,设计了一种主动变形镜,并分析该主动变形镜的像散补偿性能。利用有限元分析方法,建立主动变形镜的有限元模型,得到主动变形镜调节能力、刚体位移误差、固有频率及最大应力等性能。结果表明,主动变形镜在50 N驱动力作用下可以实现镜片表面面形均方根(RMS)837 nm Z5像散补偿,伴随产生的镜片表面高阶像差仅为RMS 1.124 nm,三个方向刚体平移仅为0.49、0.52、0.13 nm,三个方向的刚体旋转仅为2.21、1.73、1.10 ms,主动变形镜一阶固有频率达到2555 Hz,最大应力为0.852 MPa,满足光刻物镜像散补偿需求。 |
| 关键词 | 成像系统 主动光学 像散补偿 有限元分析 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/53640 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 东立剑,赵磊,张德福,等. 光刻物镜主动变形镜像差补偿分析[J]. 激光与光电子学进展,2015(07):238-244. |
| APA | 东立剑,赵磊,张德福,于新峰,倪明阳,&李显凌.(2015).光刻物镜主动变形镜像差补偿分析.激光与光电子学进展(07),238-244. |
| MLA | 东立剑,et al."光刻物镜主动变形镜像差补偿分析".激光与光电子学进展 .07(2015):238-244. |
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| 光刻物镜主动变形镜像差补偿分析.caj（1604KB） | 期刊论文 | 作者接受稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |
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