Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 具有整体径向挠性的光学元件多点均匀支撑结构 | |
赵磊 ; 彭海峰; 于新峰; 东立剑
| |
| 2015-10-15 | |
| 发表期刊 | 光电工程
 |
| 期号 | 10页码:43-48 |
| 摘要 | 光刻投影物镜中透镜的面形精度是影响光学系统成像质量的关键因素之一。为满足透镜面形精度RMS值优于1~2 nm的指标要求,本文提出了一种具有整体径向挠性的透镜多点均匀支撑结构,基于自重变形和热变形对支撑块尺寸进行了优化设计,分析了透镜在优化后的支撑结构下由自重和热载荷引入的面形变化情况,结果表明:自重引起的透镜上表面面形去除power项后RMS为0.429 nm,下表面面形去除power项后RMS为0.294 nm;热载荷引起的透镜上表面面形RMS为0.409 nm,下表面面形RMS为0.063 nm,能够满足光刻投影物镜中透镜的高精度面形要求。 |
| 关键词 | 光刻投影物镜 透镜支撑结构 自重变形 热变形 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/53925 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵磊,彭海峰,于新峰,等. 具有整体径向挠性的光学元件多点均匀支撑结构[J]. 光电工程,2015(10):43-48. |
| APA | 赵磊,彭海峰,于新峰,&东立剑.(2015).具有整体径向挠性的光学元件多点均匀支撑结构.光电工程(10),43-48. |
| MLA | 赵磊,et al."具有整体径向挠性的光学元件多点均匀支撑结构".光电工程 .10(2015):43-48. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 具有整体径向挠性的光学元件多点均匀支撑结（657KB） | 期刊论文 | 作者接受稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |
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