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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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数字微镜器件(DMD)杂散光特性测试方法及装置
期刊论文
中国光学, 2022, 卷号: 15, 期号: 02, 页码: 339-347
作者:
姚雪峰
;
高毅
;
龙兵
;
于晨阳
;
李文昊
;
于宏柱
;
张靖
;
李晓天
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提交时间:2023/05/18
二维光栅位移测量技术综述
期刊论文
中国光学, 2020, 卷号: 13, 期号: 06, 页码: 1224-1238
作者:
尹云飞
;
刘兆武
;
吉日嘎兰图
;
于宏柱
;
王玮
;
李晓天
;
鲍赫
;
李文昊
;
郝群
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提交时间:2021/07/06
二维光栅
光栅干涉技术
精密位移测量
大尺寸反射式光栅拼接技术的研究进展
期刊论文
光学精密工程, 2019, 卷号: 27, 期号: 03, 页码: 542-551
作者:
杨国军
;
齐向东
;
于海利
;
李晓天
;
张善文
;
糜小涛
;
于宏柱
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浏览/下载:177/41
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提交时间:2020/08/24
光栅拼接
误差检测
误差分离
相位校正
拼接装置
Simple and compact grating-based heterodyne interferometer with the Littrow configuration for high-accuracy and long-range measurement of two-dimensional displacement
期刊论文
APPLIED OPTICS, 2018, 卷号: 57, 期号: 31, 页码: 9455-9463
作者:
Lv, Qiang
;
Liu, Zhaowu
;
Wang, Wei
;
Li, Xiaotian
;
Li, Shuo
;
Song, Ying
;
Yu, Hongzhu
;
Bayanheshig
;
Li, Wenhao
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提交时间:2019/08/26
laser
nonlinearity
encoder
errors
stage
Optics
平面光栅衍射效率测试系统
期刊论文
长春工业大学学报, 2018, 期号: 05, 页码: 499-504
作者:
于宏柱
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提交时间:2019/09/17
平面光栅
衍射效率
光线追迹
光栅刻划机阿贝误差对光栅衍射波前质量的影响及其校正方法
期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 148-156
作者:
糜小涛
;
于海利
;
于宏柱
;
齐向东
;
李晓天
;
万秋华
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提交时间:2018/04/09
衍射光栅
阿贝误差
衍射波前
刻线位置误差
刻划机
大型衍射光栅刻划机拉杆结构的分析与改进
期刊论文
光学精密工程, 2015, 期号: 03, 页码: 745-752
作者:
糜小涛
;
于宏柱
;
于海利
;
姚雪峰
;
宋楠
;
冯树龙
;
齐向东
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提交时间:2016/07/06
光栅刻划机
衍射光纤
双拉杆结构
单拉杆结构
石英导轨
大型衍射光栅刻划机微定位系统控制器设计
期刊论文
仪器仪表学报, 2015, 期号: 02, 页码: 473-480
作者:
糜小涛
;
于宏柱
;
高键翔
;
于海利
;
张善文
;
齐向东
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提交时间:2016/07/06
微定位系统
控制器设计
数学模型
定位精度
光栅刻划机衍射波前质量的主动控制校正方法
期刊论文
中国激光, 2015, 期号: 01, 页码: 239-246
作者:
杨超
;
于海利
;
张善文
;
于宏柱
;
李晓天
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唐玉国
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提交时间:2016/07/06
光栅
刻划光栅
光栅波前
刻线位置误差
转角误差
压电驱动器
光栅刻划机300mm行程工作台研制及其自适应控制方法
期刊论文
中国激光, 2014, 期号: 6, 页码: 175-182
作者:
李晓天
;
于海利
;
齐向东
;
朱继伟
;
于宏柱
;
巴音贺希格
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提交时间:2015/04/17
光栅
光栅刻划机
宏微两级工作台
Bp神经网络
Pid控制
自适应控制