数字微镜器件（DMD）杂散光特性测试方法及装置

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	数字微镜器件（DMD）杂散光特性测试方法及装置
	姚雪峰 ; 高毅 ; 龙兵 ; 于晨阳 ; 李文昊 ; 于宏柱 ; 张靖 ; 李晓天
	2022-03-15
发表期刊	中国光学
卷号	15 期号:02 页码:339-347
摘要	为了获得数字微镜器件（DMD）的真实光学特性，提出了微镜单元杂散光分布测试方法，并搭建实验装置对2×2阵列区域微镜单元的杂散光分布情况进行测试。提出了一种杂散光测试方法，并针对微镜单元尺寸小、配置方式灵活的特点，设计了汇聚光斑大小连续可调的照明系统以及可以对微镜单元清晰成像的成像系统。通过实验得到了2×2阵列区域微镜单元的杂散光分布情况。测试结果表明，单个微镜单元中心孔道位置附近反射的能量较强，靠近边缘位置反射的能量则相对较弱。此外，测试区域之外的微镜单元也会反射一部分能量，测试区域内微镜单元杂散光绝对强度最大值出现在中心孔道附近，其灰度值为6.86，紧邻测试区域微镜单元杂散光绝对强度最大值同样也出现在中心孔道附近，其灰度值为4.01，由此可以说明中心孔道位置附近的杂散光较强；测试区域内微镜单元的杂散光相对强度相对较弱，从测试区域边缘开始急剧增大，经过大约两个微镜单元后达到峰值，数值为293.5%，此后开始急剧下降。
文献类型	期刊论文
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/66302
专题	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
作者单位	1.中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 2.中国刑事警察学院痕迹检验鉴定技术公安部重点实验室 3.刑事检验四川省高校重点实验室(四川警察学院) 4.中国电子科技集团公司第十研究所 5.中国科学院大学
推荐引用方式 GB/T 7714	姚雪峰,高毅,龙兵,等. 数字微镜器件（DMD）杂散光特性测试方法及装置[J]. 中国光学,2022,15(02):339-347.
APA	姚雪峰.,高毅.,龙兵.,于晨阳.,李文昊.,...&李晓天.(2022).数字微镜器件（DMD）杂散光特性测试方法及装置.中国光学,15(02),339-347.
MLA	姚雪峰,et al."数字微镜器件（DMD）杂散光特性测试方法及装置".中国光学 15.02(2022):339-347.

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数字微镜器件（DMD）杂散光特性测试方法（3320KB）	期刊论文	出版稿	开放获取	CC BY-NC-SA	浏览下载