Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 大型衍射光栅刻划机微定位系统控制器设计 | |
| 糜小涛; 于宏柱; 高键翔; 于海利; 张善文; 齐向东 | |
| 2015-02-15 | |
| 发表期刊 | 仪器仪表学报
 |
| 期号 | 02页码:473-480 |
| 摘要 | 针对衍射光栅刻划机开环控制的定位精度不能满足指标要求的问题,在刻划机已有的状态和结构下,设计了微定位系统的控制器。首先,介绍了衍射光栅刻划机,分析了微定位系统及其定位精度指标。然后,运用系统辨识的方法,设计了微定位系统的扫频实验,建立其数学模型。接着,提出了在已有数学模型的基础上,运用实际测量数据和MATLAB/Simulink软件仿真试凑来设计控制器的方法,并设计了满足精度指标要求的控制器。最后,将设计的控制器应用于微定位系统并进行模拟刻划实验,实验结果可知:所设计的微定位系统控制器定位精度基本满足指标要求,其中峰-峰值小于40 nm,RSM值总体略大于2.8 nm。 |
| 关键词 | 微定位系统 控制器设计 数学模型 定位精度 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/53486 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 糜小涛,于宏柱,高键翔,等. 大型衍射光栅刻划机微定位系统控制器设计[J]. 仪器仪表学报,2015(02):473-480. |
| APA | 糜小涛,于宏柱,高键翔,于海利,张善文,&齐向东.(2015).大型衍射光栅刻划机微定位系统控制器设计.仪器仪表学报(02),473-480. |
| MLA | 糜小涛,et al."大型衍射光栅刻划机微定位系统控制器设计".仪器仪表学报 .02(2015):473-480. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 大型衍射光栅刻划机微定位系统控制器设计.（515KB） | 期刊论文 | 作者接受稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |
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