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大型衍射光栅刻划机微定位系统控制器设计
糜小涛; 于宏柱; 高键翔; 于海利; 张善文; 齐向东
2015-02-15
发表期刊仪器仪表学报
期号02页码:473-480
摘要针对衍射光栅刻划机开环控制的定位精度不能满足指标要求的问题,在刻划机已有的状态和结构下,设计了微定位系统的控制器。首先,介绍了衍射光栅刻划机,分析了微定位系统及其定位精度指标。然后,运用系统辨识的方法,设计了微定位系统的扫频实验,建立其数学模型。接着,提出了在已有数学模型的基础上,运用实际测量数据和MATLAB/Simulink软件仿真试凑来设计控制器的方法,并设计了满足精度指标要求的控制器。最后,将设计的控制器应用于微定位系统并进行模拟刻划实验,实验结果可知:所设计的微定位系统控制器定位精度基本满足指标要求,其中峰-峰值小于40 nm,RSM值总体略大于2.8 nm。
关键词微定位系统 控制器设计 数学模型 定位精度
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/53486
专题中科院长春光机所知识产出
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GB/T 7714
糜小涛,于宏柱,高键翔,等. 大型衍射光栅刻划机微定位系统控制器设计[J]. 仪器仪表学报,2015(02):473-480.
APA 糜小涛,于宏柱,高键翔,于海利,张善文,&齐向东.(2015).大型衍射光栅刻划机微定位系统控制器设计.仪器仪表学报(02),473-480.
MLA 糜小涛,et al."大型衍射光栅刻划机微定位系统控制器设计".仪器仪表学报 .02(2015):473-480.
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